【半導体製造向け】微細孔・多孔セラミックス
高精度な押出成形による微細孔セラミックスで流量のばらつきを抑制
半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に供給するために、薬液やガスの均一な供給が求められます。特に、微細なパターン形成や精密なプロセス制御においては、流量のわずかな変動が製品の品質に大きな影響を与える可能性があります。微細孔・多孔セラミックスは、個体による流量値のバラツキを抑え、安定した流量供給を実現します。 【活用シーン】 ・薬液供給 ・ガス供給 ・成膜プロセス 【導入の効果】 ・流量の安定化 ・歩留まり向上 ・品質向上
- 企業：株式会社パイロットコーポレーション IS部
- 価格：応相談
