多孔質セラミックス
多孔質セラミックスとは、たくさんの気孔（ポーラス）があるセラミックスのことです。
アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部では多孔質セラミックスを手がけ始め、材質として、多孔質アルミナ・多孔質SiCの2種類を取り揃えております。 現在 数種類のラインナップがあり、用途別に皆様のご要望にお応えしています。 独自の成形技術により自由な気孔径、気孔率が可能な多孔質セラミックスを提案します。 多孔質セラミックスは、薄いウエハ・薄いフィルムなどの吸着治具として使用されています。 ガスは通しますが、プラズマは通さない為、プラズマ装置の治具として使われています。 多孔質のセラミックスですので、絶縁性・耐熱性があります。 大きさによりますが、平面平行度5μm程度が可能であり、装置の高精度化が可能になります。 こんな使い方はいかがでしょうか→ 一般的なアルミナの多孔質セラミックスの他に、SiCでの多孔質セラミックスも取り扱っておりますので、アルミナでは対応できない環境（急冷・急熱・フッ酸系の薬品使用）でのご利用に多孔質SiCを検討下さい。 急冷・急熱が必要な光学レンズ製造型でのご利用はいかがでしょうか。
- 企業：アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部
- 価格：応相談
