パターン修正に最適! NUV対物レンズ
レーザー用対物レンズ
NUVPlan20X・・・WD12mm、N.A. 0.5 NUVPlan50X・・・WD10mm、N.A. 0.52
- 企業:株式会社清和光学製作所
- 価格:応相談
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レーザー用対物レンズ
NUVPlan20X・・・WD12mm、N.A. 0.5 NUVPlan50X・・・WD10mm、N.A. 0.52
ウェハーの裏面観察などに最適!長作動距離、高解像対物レンズです
『PE lR Plan対物シリーズ』は、近赤外域の分光透過率を高く設計した 長作動距離、高解像対物レンズです。 シリコンを透過してウェハーの裏面観察をしたり、フォトエミッション 故障解析用レンズとして使用できます。 当社の顕微鏡「PS-888L」に取り付け、YAGレーザと併用することで レーザーリペアなどにもご使用いただけます。 ※LCDガラス補正・シリコン補正に対応可能ですので、ご相談ください。 【特長】 ■フォトエミッション用レンズ ■長作動距離・高解像対物レンズ ■レザーリペアなどにも使用可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
白色干渉計での使用に最適!サンプルの高低差に対応した干渉縞が得られます
『MlFシリーズ』は、白色干渉計での使用を目的とした対物レンズです。 合焦位置でのサンプル像とともに内蔵するビームスプリッタと参照ミラー によりサンプルの高低差に対応した干渉縞が得られます。 カスタマイズで製作する受注製品に関しては、シャッターの有無・参照ミラーの 調整方法などをご相談の上製作いたします。 対象物に合わせた反射率の参照ミラーもご用意可能です。 【特長】 ■ビームスプリッタ内蔵 ■サンプルの高低差に対応 ■カスタマイズ製作対応 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体回路やLCDのリペアなどの薄膜加工に最適な長作動距離対物レンズ
『UV/DUV Plan APO20X・50X』は、明視野観察用の長作動距離対物レンズです。 可視域と近紫外で使用する波長において、ピントが合うように補正されていいます。 近紫外域の分光透過率を高く設計しており、顕微鏡に取付けてYAGレーザを併用 することで、半導体回路やLCDのリペアなどの薄膜加工に最適です。 【特長】 ■明視野観察用 ■分光透過率を高く設計 ■薄膜加工に最適 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
故障解析で電流リークによる極微弱な発光の検出に威力を発揮いたします
『PElR2000HR 20X・50X』は、2000nmで80%以上の透過率を維持した対物レンズです。 半導体デバイスの故障解析で電流リークによる極微弱な発光の検出に 威力を発揮いたします。 高集積、多層配線化された半導体デバイスを、チップの裏面からシリコンを 透過してくる赤外光で観察が可能です。 ※シリコン補正対応いたしますので、ご相談ください。 【特長】 ■2000nmで80%以上の透過率を維持 ■極微弱な発光の検出に威力を発揮 ■シリコン補正対応可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。