中空ロータリーステージ|光路を塞がず角度再現性を維持する小型機構
中央開口構造によりレーザー・顕微鏡光路を確保しながら、高速回転位置決めを実現
U-628はPILINE超音波ピエゾモータを採用した50x50 mm×高さ19 mm、耐荷重 5Nの小型回転ステージです。 内蔵インクリメンタル角度センサーでセンサー分解能17μrad、最小動作量51μrad、双方向再現性 ±102μradを実現。 電源OFF時には、0.03 N・mのセルフロック保持力で位置を保持。 ※詳細な製品仕様についてはカタログからご確認いただけます。ご質問などございましたら、ぜひお問い合わせください。
- 企業:PIジャパン株式会社
- 価格:応相談