油拡散ポンプ ＳＤＰシリーズ
高真空度が必要とされる場合に採用される真空ポンプのご案内です。
高真空度が必要とされる場合に採用される真空ポンプで、10-5Pa が安価に得られます。熱せられた拡散オイルがノズルから噴射されることにより発生する超音速のジェット噴流によって、高真空域まで排気します。単独運転はできず、油回転真空ポンプをバックポンプとして、組合せて使 用します。なお、組合せて排気セットとした製品は「高真空排気装置」として掲載しておりますので、ご参照ください。
- 企業：佐藤真空株式会社
- 価格：応相談
