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半導体ウエハの欠陥を高精度に検出。生産効率向上に貢献。
半導体業界では、製品の品質を確保するために、ウエハや基板の微細な欠陥を正確に検出することが不可欠です。特に、製造プロセスの高度化に伴い、欠陥のサイズはますます小さくなっており、従来の検査方法では見逃してしまう可能性があります。当社の超高画素CoaXPressカメラは、広視野角と超高精細な撮像能力により、微細な欠陥を高精度に検出します。これにより、不良品の流出を防止し、歩留まりを向上させることが可能です。 【活用シーン】 ・半導体ウエハの欠陥検査 ・基板の異物検査 ・電子部品の外観検査 【導入の効果】 ・微細な欠陥の検出精度向上 ・不良品の流出防止 ・歩留まりの向上
大きな問題を未然に防ぐ。そこに必要なのはごくわずかな欠陥を検出する精度と速度です
当社のエリアスキャンカメラ「Go-X Series」は、「電子部品検査」でも 利用されております。 回路基板、フラットパネルディスプレイ、個々の部品、いずれも正確な ビジョン検査の必須要件はスループット。 当社は、質・量ともに要求されるビジョンシステムをサポートする 業界最速クラスのマシンジョンカメラを提供しています。 【用途(一例)】 ■食品・飲料検査 ■自動車製造検査 ■電子部品検査 ■包装検査やロジスティクス ■医療・ライフサイエンス ■屋外・交通管理 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ウェハや微細構造における欠陥をより詳細かつ効率的に検出可能！
「Apex Series」は、正確なカラー情報が求められる産業用イメージングに 好適です。ここでは、「半導体・ウェハ検査」での例をご紹介いたします。 スペクトルの重なりが極めて少ないため、ダークフィールド、 ブライトフィールド、バックライトなどの複数の照明方式や 異なる波長の光を同時に使用しても、チャネル間の干渉が発生しません。 その結果、ウェハや微細構造における欠陥をより詳細かつ効率的に 検出できます。 【アプリケーション(一例)】 ■ディスプレイ検査 ■電子部品・プリント基板(PCB)検査 ■MLCC(積層セラミックコンデンサ)検査 ■食品検査 ■医薬品品質検査 ■半導体・ウェハ検査 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
