腐食性の高い薬液に強い!!GEMÜ製 フッ素樹脂バルブのご紹介
腐食性の高い薬液にも対応!!GEMÜ製高純度フッ素樹脂バルブ
半導体製造の特に洗浄・エッジングにおいて必ず高純度の高い腐食性がある流体を使用します。またその薬液を装置に供給する装置では多くのバルブを使用し、コンポーネントは常にダメージを受けています。ダメージを受け続け、薬液が漏れトラブルが起きた際は、 ・半導体生産能力の低下による大きな損失 ・復旧作業における時間の損失 ・作業員の方への被害 など様々なリスクがございます。 バルブにおけるその大きな要因は腐食性の高い薬液によるステンレス製パーツの腐食です。 長年使用すると、ステンレス製パーツは薬液による浸透で腐食が始まります。そうするとバルブの故障による事故になりかねません。 GENÜ製品は腐食性の高い薬液に対して対策を行っております。 ・標準品で高純度なA4(SUS316L相当)のステンレスを採用 ・オプションでステンレスに対してPFAコーティング 弊社製品を使用いただくことで長期間安心して使用いただけます。 是非お困りの方はお問い合わせください!
- 企業:ゲミュージャパン株式会社
- 価格:応相談