【半導体向け】Q46/84過酸化水素水計【ATI】
排水中の過酸化水素水濃度を連続測定・監視。ランニングコストを削減。
半導体製造業界では、製造プロセスの清浄度管理が製品の品質を左右する重要な要素です。特に、洗浄工程で使用される過酸化水素水(H2O2)の濃度管理は、ウェーハ表面の汚染を防ぎ、歩留まりを向上させるために不可欠です。不適切な濃度管理は、製品の不良や性能低下につながる可能性があります。Q46/84過酸化水素水計は、過酸化水素水の濃度を連続的に測定し、清浄度管理を効率的に行うことを可能にします。 【活用シーン】 ・半導体製造工場の排水処理工程 ・ウェーハ洗浄工程 ・薬液管理 【導入の効果】 ・過酸化水素水濃度の最適化による歩留まり向上 ・無試薬型によるランニングコスト削減 ・リアルタイムでの濃度監視による異常の早期発見
- 企業:サニー・トレーディング株式会社
- 価格:10万円 ~ 50万円