化学薬品の代わりに水蒸気を使った洗浄機「蒸気2流体洗浄装置」
半導体業界から生まれた新技術!蒸気を超音速で噴射することで「汚れ」を除去!薬品を使わないので、廃液処理が簡単で低コストを実現!
蒸気2流体洗浄装置は上記を超音速で噴射することで発生する衝撃波(キャビテーション)とせんだん力により汚れや微小異物を除去します。 また、薬品を使わないので廃液処理が簡単で、低コストを実現します。 【特徴】 ■蒸気を高音速で噴射して汚れを除去 ■薬品を使わないので、廃液処理が簡単で低コストを実現 ■水のみで洗浄するので環境に配慮し安全 ■非接触なので消耗品が少ない ■油性マジック及び油汚れも除去可能 【応用・実績例】 ■フォトレジストの剥離(半導体、LED) ■ポリマー及びパーティクル除去(半導体) ■金膜のリフトオフ(半導体、LED) ■研磨後の洗浄(半導体、樹脂加工) 他 ※製品の詳細は別途お問い合わせいただくか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
- 企業:株式会社メイコー
- 価格:応相談