プロセスガス用レギュレータ「PGMシリーズ」
業界最高クラスのシール性能・ヒステリシス・繰り返し再現性を誇るCKDのプロセスガスレギュレータ。
供給ガスの高精度な圧力/流量調整で安定プロセスを実現します。 【高シール性】 プロセス安定化に貢献 ● 弁座部の最適設計と超精密加工 ● 弁閉動作時の2次側への漏れ（出流れ）を極限まで抑制 【高い微小流量制御性】 安定かつスムーズな動作を実現 ● 弁座部形状の最適設計 ● 微小流量でも安定制御 【ヒステリシス低減】 狙いの圧力に確実にミート ● 高品質材料の採用 ● 超精密加工
- 企業：ＣＫＤ株式会社
- 価格：応相談
