【半導体製造向け】ボールねじ補助潤滑モジュール【EL】
ISO6クリーンルーム対応、半導体製造装置のクリーン化に貢献
半導体製造業界では、高度なクリーン環境が求められ、微細な塵や油分が製品の品質に大きな影響を与えます。特に、ボールねじの潤滑油は、その落下による汚染源となり、歩留まりの低下や装置の故障につながる可能性があります。EL補助潤滑モジュールは、ボールねじが稼働中でも持続的に適量の潤滑油を供給し、油の落下による汚染を回避することで、クリーン環境を維持します。 【活用シーン】 ・半導体製造装置 ・クリーンルーム内での使用 ・ボールねじの潤滑が必要な箇所 【導入の効果】 ・クリーン環境の維持 ・製品品質の向上 ・メンテナンスサイクルの延長
- 企業：ハイウィン株式会社
- 価格：応相談
