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処理温度1600℃以上！煙突部のアフターバーナでバインダーを焼却
株式会社成田製作所で行った「セラミック焼成炉」の 製作事例についてご紹介いたします。 熱源はガス、処理温度は1600℃以上。脱脂から焼成まで行い、 煙突部のアフターバーナでバインダーを焼却。 当社では、工業用ガスバーナーや各種熱処理炉、乾燥炉、 それらに付随する加工用設備や投入搬送装置、各種省力化 装置などを、ご要望に応じた特注品の設計製造を中心に 事業を営んでいます。 【事例概要】 ■熱源：ガス ■処理温度：1600℃以上 ■用途：セラミック焼成 ■特長：脱脂から焼成まで対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
炉内雰囲気（酸素濃度）の再現性を実現！構成材の軽量化により低燃費・迅速焼成
『シャトルキルン』は、製品を積載した台車を炉内へ装入し、所定の温度で 処理する形式の炉です。 生産量の調整と、焼成温度のパターン変更が容易。 自社開発のバーナー（スーペリオバーナー）と温度制御システムにより、 約100℃から2℃/hの精密な温度コントロールと均一焼成を実現します。 【特長】 ■約100℃から2℃/hの精密な温度コントロールと均一焼成を実現 ■炉内雰囲気（酸素濃度）の再現性を実現 ■荷姿や限られた設置スペースに応じた好適な燃焼方式をご提案 ■特殊な炉材構成によるメンテナンスが軽減 ■セラミックスファイバー等、構成材の軽量化により低燃費・迅速焼成を実現 流量制御システムでは、空燃比をコントロールしながら温度を制御するため、 炉内雰囲気の再現性を確立します。 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ESC・セラミックス部品の焼成条件出しに。N₂＋H₂還元雰囲気と露点制御で、焼成品質の再現性向上に貢献します。
静電チャック（ESC）やセラミックス部品の焼成・還元処理・脱バインダー処理に対応した、雰囲気制御型の高温焼成炉です。 N₂およびN₂＋H₂還元雰囲気での運転に対応し、常用1000℃、最高1650℃までの高温処理が可能です。 また、オプションによりWetガス導入・露点制御・Dry/Wet切替にも対応できるため、材料の焼き上がり、緻密化、絶縁性、表面状態、内部電極状態などの条件検討に活用できます。 同一チャンバー内で雰囲気を切り替えながら処理できるため、工程間の移動や外気曝露を抑制し、焼成条件の再現性向上、ばらつき低減、試作評価の効率化に貢献します。 ESC向けの焼成条件出し、N₂＋H₂還元処理、露点管理を伴うセラミックス焼成でお困りの場合は、お気軽にご相談ください。
