真空ポンプ(超小型) - メーカー・企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2025年08月20日～2025年09月16日
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真空ポンプの製品一覧
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直動案内機器 マイクロ精密位置決めテーブル TM
従来製品の2倍以上（当社比）のテーブル最高速度を実現！
超小型装置の分野で定評のある、トラックレール幅2mmのIKOマイクロリニアウェイLと、ねじ径2mmの精密研削ボールねじを組み込んだ、極めて小形な精密位置決めテーブルです。
- 企業：日本トムソン株式会社
- 価格：応相談
マイクロ精密位置決めテーブル『TM』
超小型装置の位置決め機構に好適！精度を落とすことなく高速移動が可能
『TM』は、テーブル案内部にレール幅2mmのマイクロリニアウェイL、 送り機構にねじ径2mmのミニアチュアボールねじを組み込んだ 極小サイズの位置決めテーブルです。 モータは、標準タイプ、高トルクタイプの2種類のACサーボモータと ステッピングモータから用途に合わせて選択可能。 モーメントや複合荷重に強い構造です。 【特長】 ■研削ボールねじ駆動で断面高さ20mm、幅17mm ■テーブル最高速度75mm/sを発揮 ■用途に合わせたテーブル仕様が選択可能 ■オプションで超小型センサも内蔵可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本トムソン株式会社
- 価格：応相談
位置決めテーブル『MT12VST』
コンパクト＆高剛性！超小型ボディの位置決めテーブル
当製品は、高真空（1×10-5pa程度）対応の位置決めテーブルです。 手のひらに載るほどの超小型ボディでありながら、案内系にクロスローラ ガイド、伝達系に精密ボールねじ（予圧品）を採用し、高剛性を実現、安定 した動きを保証します。 またXY軸、XZ軸など多軸に組み合せ可能なブラケット等、オプションも ご用意しています。 【特長】 ■クリーン対応品も用意 ■コンパクト＆高剛性 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■真空対応グリースはお客様の用途に合わせた最適なものを選択 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプECODRY 25 / 35 plus
小型で軽量、低騒音・低振動のドライ真空ポンプ。クリーンな真空を生成できます。
低騒音・低振動のため研究開発や分析機器での使用に最適なマルチルーツ型の小型ドライ真空ポンプ。先端のテクノロジーを使用した革新的なドライ真空ポンプです。ターボ分子ポンプのバックポンプとしての使用にも適しています。 非接触ローターを採用しており、パーティクルが発生しません。また、排気チャンバーはオイルフリーで、クリーンな真空を生成できます。 約5年間メンテナンス不要です。
- 企業：ライボルト株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ『ECODRY 40 / 65 plus』
低騒音・低振動で快適な作業環境を実現
『ECODRY plus』は会話やエアコンの音よりも静かな小型ドライポンプです。 サイレンサーを内蔵しており、運転音はわずか52dB未満と超低騒音を実現。 振動も少なく、作業に集中できる環境づくりに貢献します。 パーティクルが排気チャンバーに侵入せずクリーンな真空を確保するほか、 オイル・シール交換といったメンテナンスが不要。デモ機を用意しています。 【特長】 ■研究所など静かでクリーンな環境が求められる空間に好適 ■水蒸気排出量の許容値が高い ■軽量・コンパクト ■キャスター付きで移動が簡単 ※「PDFダウンロード」から製品が掲載された資料をご覧いただけます。
- 企業：ライボルト株式会社
- 価格：応相談
シンプルな高真空排気ステーション・TURBOLAB Core
容易に操作が可能なエントリーモデル。費用対効果が高いのが特長。
特に小規模のラボなど、小型のチャンバーの排気に理想的な高真空排気ソリューション ■ 軽量でコンパクト ■ ドライ、高性能の排気ステーション - ターボ分子ポンプは90Lと250Lから選択可能 - バックポンプはシンプルなDIVAC 1.4ダイヤフラムポンプ ■ 内蔵コントローラがゲージ圧またはターボ分子ポンプの速度を表示。ポンプステーション全体をひとつで起動・停止するボタン ■ ライボルトのピラニ真空計またはペニング真空計を1台接続可能
- 企業：ライボルト株式会社
- 価格：応相談
極高真空対応スパッタイオンポンプ『エクセルポンプ』
40％のサイズダウン！組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバーにより高効率を実現
『エクセルポンプ』は、小型軽量の真空ポンプです。 イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し開発した ポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータを採用。 また、NEG(非蒸発型ゲッタ)ポンプの内蔵によりXHVの達成を可能にしました。 【特長】 ■UHV、XHV領域での高い排気能力 ■高効率ベーキングの実現 ■小型、軽量 ■クリーンルーム対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
- 価格：応相談
マイクロ精密位置決めテーブル『TM』
テーブル最高速度75mm/sを発揮！用途に合わせたテーブル仕様が選択可能
当社で取り扱う、マイクロ精密位置決めテーブル『TM』をご紹介いたします。 ハイリードボールねじと高トルクACサーボモータを組み合わせることで、 精度を落とすことなく高速移動が可能。スライドテーブルの形状は、 スタンダードテーブルとロングテーブルの2タイプをご用意しております。 また、外形寸法はそのままで、原点・原点前・CWリミット・CCWリミットの 各センサの内蔵を指定することが可能です。 【ポイント】 ■研削ボールねじ駆動で断面高さ20mm、幅17mmの極小位置決めテーブル ■テーブル最高速度75mm/sを発揮 ■用途に合わせたテーブル仕様が選択可能 ■オプションで超小型センサも内蔵可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：藤川伝導機株式会社
- 価格：応相談
【ダイジェスト版】CONVUM 総合カタログ
非接触搬送機器や真空機器の豊富なラインナップを掲載中！
『CONVUM』は、当社が取り扱う非接触搬送機器や 真空機器を掲載した総合カタログのダイジェスト版です。 高浮上・搬送・高精度の３タイプを用意した「LTUシリーズ」をはじめ 省エネ省スペースの「SC1コンバム」や、真空ポンプラインの 吸着搬送システムに適した「MPV3シリーズ」など、多数掲載しております。 【掲載内容】 ■コンフロート ■コンパッド ■コンバム（真空ジェクタシステム） ■真空ポンプシステム ■真空パッド ■圧力・真空センサ ■真空システム関連機器 ■空気圧周辺機器 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※こちらのPDF資料はダイジェスト版です。全編必要な方はお問合せください。
- 企業：コンバム株式会社 旧社名：妙徳
- 価格：応相談
医療規格対応電源 メディカルパワーサプライmシリーズ
医療機器の小型化・長寿命化・コスト削減に貢献！基板型からPC用ATX電源まで、医療用安全規格に対応した製品を幅広くラインナップ！
ニプロンの医療規格対応電源は、L,N両ラインにヒューズを内蔵。強化絶縁対応・低漏洩電流使用といった特長を持っています。高価な医療用絶 縁トランスやヒューズ、ブレーカーを別途用意する必要が無い為、医療機器のコストを削減するだけでなく、小型化にも貢献します。 【特長】 ○別途絶縁トランスや入力ヒューズを用意しなくてOK！ ⇒低コスト・小型化 ○電源の効率が高いため、発熱量が抑えられる。 ⇒小型・長寿命化 ○基板型からPC用ATX電源まで医療用安全規格IEC60601-1に対応した製品を多数ラインナップ ⇒用途、開発する製品に応じてお選び頂けます ○停電対策が可能な製品もラインナップ ○ノイズフィルター無しでVCCI CLASS Bをクリア ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社ニプロン
- 価格：応相談
往復動滑り弁式真空ポンプ VS/VSW-series
研究・改良に努力を重ね、その技術と優秀性を認められ、定評を得ております
往復動滑り弁式真空ポンプ VS/VSW-seriesは、長年の経験による充分な機械強度を持ち、耐久性・再整備性を重視した設計です。メインクランク轍は円錐コロ軸受け4箇所で受け、バルブ駆動用のエキセントリッククランク機構も玉軸受けで支持され、容易に調整・交換が可能です。シリンダーやバルブ面の再研磨を考慮して充分な肉厚（加工シロ）を設定しています。シリンダー内面は数度のボーリングが可能なように充分な肉厚加工シロを持ち、耐磨耗合金の溶射やスリーブの圧入等の特殊使用に対応いたします。同じくバルブの摺動面も同じく充分な再切削シロを持ち、耐磨耗・耐腐食合金の張付加工が可能です。バルブ構造は独自の自動調芯機構と相俟って長期に渡り高性能を発揮します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社日吉プロダクツ
- 価格：応相談
