窒化系シミュレータ(熱解析) - 企業1社の製品一覧

pドーピング窒化系シミュレータ

GaNおよびIII族窒化物にpドーピングを行うプロセス解析ツール

有機金属気相成長法(MOCVD)のプロセスシミュレーターPROCOMシミュレーションでp-タイプ伝導率の問題に取組む。膜成長中のMg取込みをコントロールするのが重要。シミュレーションは複雑なドーピングプロセスおよびMOCVDプロセスの最適化を補助。異なるタイプのアクセプターも本ソフトウェアによってシミュレーション可能。

• 企業：クロスライトソフトウェアインク日本支社
• 価格：応相談

• シミュレーター