【製作例】両面パターンズレ検査用ユニット
オリジナル電動レボルバを採用!既成アクチュエータを用いずフレームと一体化させています
当社が製作した「両面顕微鏡測定用ユニット」をご紹介いたします。 オリジナル電動レボルバを採用。上下対物レンズの軸を高精度に 合わせることができます。 また、高速駆動可能な薄型フラットXYステージに高精度θ回転を 組み込んだオートステージとなっております。 【特長】 ■ワーク表裏面のパターンズレ測定 (サイズ:W500×D780×H700) ■オリジナル電動レボルバを採用 ■上下対物レンズの軸を高精度に合わせる ■高速駆動可能な薄型フラットXYステージに、 高精度θ回転を組み込んだオートステージ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- Company:株式会社ウェルテック
- Price:応相談