【製作例】両面パターンズレ検査用ユニット
オリジナル電動レボルバを採用！既成アクチュエータを用いずフレームと一体化させています
当社が製作した「両面顕微鏡測定用ユニット」をご紹介いたします。 オリジナル電動レボルバを採用。上下対物レンズの軸を高精度に 合わせることができます。 また、高速駆動可能な薄型フラットXYステージに高精度θ回転を 組み込んだオートステージとなっております。 【特長】 ■ワーク表裏面のパターンズレ測定 （サイズ：W500×D780×H700） ■オリジナル電動レボルバを採用 ■上下対物レンズの軸を高精度に合わせる ■高速駆動可能な薄型フラットXYステージに、 高精度θ回転を組み込んだオートステージ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ウェルテック
- 価格：応相談
