半導体製造関連装置向けヒーター
ガス固形化トラブルを解決！高性能マイカヒーターによる昇温改善事例
半導体製造関連装置を手掛ける企業様へ、高ワット密度・高速昇温の マイカヒーターによる加熱性能の最適化を行った事例をご紹介します。 同社の装置内で使用するガスが処理工程中に低温環境で固形化し、装置の 安全稼働や処理制度に影響を与えていました。既存のヒーターでは必要な 温度に達せず、高頻度でのメンテナンスが必要となっておりました。 今回の対策により、装置内部でのガスの固形化が大幅に軽減され、 これまで課題となっていたメンテナンス頻度が著しく低下。加えて、 マイカヒーターによる高速な昇温により、処理工程の立ち上がり時間が 短縮されました。 【事例概要】 ■背景：既存ヒーターではガスの固形化を防ぎきれない ■解決方法：高ワット密度・高速昇温のマイカヒーターによる加熱性能の最適化 ■効果：安定稼働の実現と装置効率の向上に貢献 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社サカエ 鬼石工場
- 価格：応相談
