半導体製造装置用治具
温度・湿度といったパラメータを無線モジュールを用いて情報収集を行う！
当社では、半導体製造装置用治具を取り扱っております。 ウェハーの半導体製造工程の中で製造装置内の変位量(静電容量)。 温度・湿度といったパラメータを無線モジュールを用いて情報収集。 装置内の搬送路を移動しつつ測定を行いデーターを無線にて送ります。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【パラメータ】 ■変位(静電容量) ■加速度 ■温度・湿度 ■バッテリー駆動 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：北斗電子工業株式会社
- 価格：応相談
