【応用事例】半導体製造 製造工場をサポート
先端のトランジスタノードからレガシーノードに至るまで！半導体製造 製造工場をサポート
当社の製品は、欠陥の特定および回避、Low-k誘電体などの高度な材料の 加工により、先端のトランジスタノードからレガシーノードに至るまで 製造工場をサポートします。 幅広い製品ラインアップの短波長レーザにより高解像度を実現可能。 出力の向上とレーザの短波長化により、欠陥検知感度の向上と処理の 高速化を実現しています。また、当社のUV/DUVレーザは、卓越した 経験に裏打ちされた優れた信頼性を備えています。 【目的別ラインアップ(一部)】 ■ウェハ検査 ・PALADINシリーズ ■マスクライティング ・INDYSTAR ・GENESIS ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- Company：コヒレント・ジャパン株式会社 本社、大阪支店、厚木TEC
- Price：応相談
