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超音波モータ(真空) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products

超音波モータ Product List

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NM_【国内半導体製造メーカー様ご採用】真空対応超音波モータ

NM_【国内半導体製造メーカー様ご採用】真空対応超音波モータ

【国内半導体製造メーカー様ご採用】真空中での高速移動と精密位置決めを合わせもつ、半導体製造で使用されている超音波モータ

Nanomotion社の超音波モータは、さまざまなサイズがあり、大気中から超高真空までの環境に適しています。 半導体業界の各種マイクロステージから300mmウェーハ検査ステージまで、幅広いアプリケーション向けのモーションプラットフォームを構築してきました。 Nanomotion社の超音波モータの特徴は、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でもステージを保持できます。 モータ単体では最大32Nの駆動力ですが、より多くのトルクが必要な場面では複数の超音波モータを取り付けることで駆動力を増すことが可能です。 また高真空中で使用でき、イオンビームの用途向けに非磁性モデルも用意しております。 ■SEモータ（最新型） 1μm～500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 7nmプロセスのための開発コンソーシアムにNanomotion社も関わって開発した超音波モータ。国内メーカーでも注目。 ■HRモータ（標準型） 1μm～250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力　 国内メーカーで多数使用されている超音波モータ

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NM_多軸半導体製造装置向け、高トルク精密位置決め超音波モータ

NM_多軸半導体製造装置向け、高トルク精密位置決め超音波モータ

重たいモノも複数の超音波モータでトルクを増やし、高速移動と高精度位置決めを両立します。

Nanomotionの超音波モータ「SE」「HR」は、真空中でも使える高速移動（最速500mm/sec）と高精度な1nm位置決めが可能な製品です。 さらに特徴的なのは駆動力。HR8モータはひとつで最大32Nのトルクがあります。 たとえばHR8モータを4つ使ってトルクを128Nすることができ、ステージをいくつも重ねたり、重たい積載物を移動させることも可能です。 ※ペイロード荷重は、移動速度や精度、ステージの大きさなど条件により大きく変わります。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。 ■電子ビーム・イオンビーム（FIB）用ステージ 検査用4 軸(X-Y-Z-θ)で、真空仕様、非磁性対応。 1nm の高分解能で6nm 以下の位置安定性を実現。 ■ライトシート顕微鏡用ステージ 10nmの精度を実現し、安定した低速度実現（200nm/sec）しています。 XYZとTip-Toltの5軸。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。

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NM_超音波モータ『HRシリーズ』

NM_超音波モータ『HRシリーズ』

高分解能、高速応答性、省スペース！制限のない可動範囲と高い応答性！

『HRシリーズ』は、直線および回転ステージを動かすのに用いられる 超音波モータ（ピエゾモータ）です。 速度は数μm/secから250mm/secまでの広い可変域を持ち一般的な 摩擦抵抗の少ないステージなどの機器に簡単に取り付けられます。 単体エレメントから８つのエレメントを重ね合わせたモータまで 各種ラインアップ。真空仕様品もございます。 【特長】 ■10nmのステップ分解能 ■AB2アンプのDCモードなら1nmのステップ分解能を実現 ■1μm/sから250mm/sまでのワイドな速度範囲 ■制限のない可動範囲と高い応答性 ■4～32Nの抜群の駆動力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 また、『HR』シリーズに最適化したドライバ『ABドライバ』シリーズも取り扱っております。 こちらも、お気軽にお問合せください。

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NM_超音波モータ（ピエゾモータ）『SE モータ』

NM_超音波モータ（ピエゾモータ）『SE モータ』

32Nの駆動力で最高高速500mm/sec！消費電力は従来製品の半分に

『SE モータ』は、ナノモーション社における計測、半導体、光学、防衛の 分野での超音波モータ（ピエゾモータ）の豊富な経験を基に、製品ラインを拡充します。 高剛性、高速駆動、サブナノメートルのモーション分解能を実現するため、 より効率的な駆動コアを組み込んだ、拡張モータ構造に基づき設計されました。 ナノモーション社の既存「HR モータ」と比較して、当製品は2倍の速度と 同じ駆動力を提供し、消費電力は半分になります。 【特長】 ■高真空アプリケーション ■サブナノメートルの位置決め精度 ■優れたエネルギー変換効率 ■幅広い動的な速度範囲 ■ゼロバックラッシュと高い剛性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他

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超音波モータ総合カタログ【他方式のモータとの比較資料付き！】

超音波モータ総合カタログ【他方式のモータとの比較資料付き！】

ロボットや磁場環境用装置に！小型・高トルク・電力ゼロで姿勢保持・磁場環境で利用可能。軽点数や位置制御性などでの比較表も掲載中。

『超音波モータ総合カタログ』は、磁石やコイルを利用せず、圧電セラミックを 振動させ、そのエネルギーを駆動力としている超音波モータの総合カタログです。 小型・静音でありながら、高トルクで精密な位置決めが可能な製品を 多数掲載。 タイマーによる間欠動作用モータとして好適な「PSM60S-A」をはじめ、 磁場環境センサレス片軸モータの「PSM60N-A」などをラインアップしています。 【掲載内容（抜粋）】 ■超音波モータとは ■他方式のモータとの比較 ■一般環境用モータ（PSM60S SERIES） ■磁場環境用モータ（PSM60N SERIES）　など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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