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ビルトインタイプの小型超音波モータ
標準型モデルは、超音波モータを利用した装置の試作、一般環境用システムの構築に最適です。 USR30-Bシリーズはビルトインタイプの小型超音波モータです。 最大トルクは0.1[Nm]、最大回転数は300[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR30-B3、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR30-B4をご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能
標準型モデルは、超音波モータを利用した装置の試作、一般環境用システムの構築に最適です。 超音波モータ 標準型ベーシックモデル USR30-Sシリーズはケースに収められているため堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能となっている標準型モデルです。 最大トルクは0.1[Nm]、最大回転数は300[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR30-S3、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR30-S4をご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
堅牢性が高く、コネクタによるケーブル着脱が可能
標準型モデルは、超音波モータを利用した装置の試作、一般環境用システムの構築に最適です。 USR60-Sシリーズはケースに収められているため堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能となっている標準型モデルです。 最大トルクは1.0[Nm]、最大回転数は150[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR60-S3、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR60-S4をご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
堅牢性が高く、コネクタによるケーブル着脱が可能！
非磁性型超音波モータはMRIなどの高い磁場で利用することを想定し、金属部品は特殊なアルミと銅合金のみです。 高磁場環境である磁束密度が3[T]を超える環境でも安心してご利用いただけます。 USR30-SNシリーズはケースに収められているため堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能となっている非磁性型モデルです。 最大トルクは0.1[Nm]、最大回転数は250[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR30-S3N、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR30-S4Nをご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
堅牢性が高く、コネクタによるケーブル着脱が可能！
非磁性型超音波モータはMRIなどの高い磁場で利用することを想定し、金属部品は特殊なアルミと銅合金のみです。 高磁場環境である磁束密度が3[T]を超える環境でも安心してご利用いただけます。 USR60-SNシリーズはケースに収められているため堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能となっている非磁性型モデルです。 最大トルクは1.0[Nm]、最大回転数は150[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR60-S3N、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR60-S4Nをご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
小型搬送装置用や間欠動作用として好適！豊富なラインアップ
当社で取り扱う、超音波モータ『一般環境用モータ』をご紹介します。 タイマーによる間欠動作用モータとして好適な「一般環境用センサレス 片軸モータ」や他社製エンコーダやタコジェネレータを利用し 制御が 可能な「一般環境用センサレス両軸モータ」などをご用意。 小型・高トルク・電力ゼロで姿勢保持・磁場環境で利用可能です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【シリーズラインアップ】 ■一般環境用モータ(PSM60S SERIES) ■一般環境用モータ(PSM40S SERIES) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
動作中に磁場を発しないため外部の機器に影響を与えることがない特殊なモータ！
当社で取り扱う、超音波モータ『磁場環境用モータ』をご紹介します。 ネジ1本に至るまで非磁性材料で構成しているため、磁場環境の影響を 受けず、磁場環境に影響を与えません。MRI内などの磁場環境で 安心してご利用いただくことが可能です。 「磁場環境用センサレス片軸モータ」や「磁場環境用500p/rエンコーダ付 モータ」など多数ラインアップしております。 【シリーズラインアップ】 ■磁場環境用モータ(PSM60N SERIES) ■磁場環境用モータ(PSM40N SERIES) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【国内半導体製造メーカー様ご採用】真空中での高速移動と精密位置決めを合わせもつ、半導体製造で使用されている超音波モータ
Nanomotion社の超音波モータは、さまざまなサイズがあり、大気中から超高真空までの環境に適しています。 半導体業界の各種マイクロステージから300mmウェーハ検査ステージまで、幅広いアプリケーション向けのモーションプラットフォームを構築してきました。 Nanomotion社の超音波モータの特徴は、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でもステージを保持できます。 モータ単体では最大32Nの駆動力ですが、より多くのトルクが必要な場面では複数の超音波モータを取り付けることで駆動力を増すことが可能です。 また高真空中で使用でき、イオンビームの用途向けに非磁性モデルも用意しております。 ■SEモータ（最新型） 1μm～500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 7nmプロセスのための開発コンソーシアムにNanomotion社も関わって開発した超音波モータ。国内メーカーでも注目。 ■HRモータ（標準型） 1μm～250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 国内メーカーで多数使用されている超音波モータ
重たいモノも複数の超音波モータでトルクを増やし、高速移動と高精度位置決めを両立します。
Nanomotionの超音波モータ「SE」「HR」は、真空中でも使える高速移動（最速500mm/sec）と高精度な1nm位置決めが可能な製品です。 さらに特徴的なのは駆動力。HR8モータはひとつで最大32Nのトルクがあります。 たとえばHR8モータを4つ使ってトルクを128Nすることができ、ステージをいくつも重ねたり、重たい積載物を移動させることも可能です。 ※ペイロード荷重は、移動速度や精度、ステージの大きさなど条件により大きく変わります。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。 ■電子ビーム・イオンビーム（FIB）用ステージ 検査用4 軸(X-Y-Z-θ)で、真空仕様、非磁性対応。 1nm の高分解能で6nm 以下の位置安定性を実現。 ■ライトシート顕微鏡用ステージ 10nmの精度を実現し、安定した低速度実現（200nm/sec）しています。 XYZとTip-Toltの5軸。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。
