更新日： 集計期間:2025年06月04日～2025年07月01日
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オリオン機械/フィルター。固形物除去用スーパーラインフィルター(圧縮空気清浄器)。
■クラス初のステンレス容器を標準採用(400-1以上)。 ■クランプジョイント方式を標準採用(400-1～2000-1)。 バンド構造の採用により、従来のフランジ方式に比べハウジングの取り外し作業を簡素化。 ■新開発エレメント採用により耐水性能の向上を実現(当社従来比200％)。 ■圧力範囲拡大(75B～250B)。 ■タイロッド接続(75B～250B)。 ■口径選択可能(400,1000) 。
ウォーターフリーはコンプレッサーの圧縮空気に含まれている水分を９９％除去する水分除去フィルターです。
『VMECA ウォーターフリー』 ウォーターフリーは、コンプレッサーの圧縮空気に含まれている水分、油分、及び異物を効果的に除去する分離装置です。 カバーから入った圧縮空気は、ディフューザーを通って急速に膨張し、露点温度が低下して不安定な状態になり、メッシュハウジング壁にぶつかることによって水分と空気に分離されます。 分離された水分はメッシュフィルタから、オートドレンを通じて排出され、水分と分離された乾燥圧縮空気は、ボディ内を通って出て行きます。 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
さまざまな汚染物質からレンズを保護し、更に長寿命化したケミカルフィルタ
「リソガードLPSフィルタ」は、現在もクラス最高レベルにある「リソガードBSMmaxフィルタ」の除去性能を強化し、更なる長寿命化を実現したキャビネット収納タイプのケミカルフィルタです。 さまざまな汚染物質からウエハーやレンズが汚染されないよう保護し、寿命を最大限に保ちます。半導体製造装置はもちろん、超洗浄環境が要求される設備・エリアへ供給する空気中の汚染物質の除去に最適です。 【特長】 ■さまざまな汚染物質の除去に使用可能 ・酸性ガス（SO2、HCl、HBr） ・塩基性ガス（NH3、NMP、アミン） ・凝縮性有機ガス（HMDSO、TMS） ■リソガードBSMmaxフィルタと比較して、同等サイズでありながら吸着容量アップを実現 ■リソガードBSMmaxフィルタからの置き換え可能 ■Refill プログラムにより、フィルタの再利用が可能 ■グローバルな販売・サービス体制 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
硫化水素/悪臭/臭気ガスを除去する業務用脱硫・空気脱臭装置＆フィルター
『コルライン』は、下水・汚水ならびに工業廃水等から発生する硫化水素と 悪臭を除去する乾式フィルターと装置です。 そのようなガスが発生している場所、または発生が予測される場合に、 個々の現場ごとにガス吸着フィルター『コルライン』の規格や必要量を 設定するので、高い脱硫・脱臭能力を発揮します。 また、シンプル設計の簡易装置のため、工場や公共施設などの多種多様な 分野でご活用いただけます。 【特長】 ■フレキシブルでカッティングも容易なので、使用条件により円柱状の 「丸形」か「角形」に設計に基づき任意のサイズに成形してお届け ■硫化水素の吸着性能を高めているので、低濃度から高濃度までの除去に 優れた効果を発揮し、塩素などの酸性ガス除去にも使用可能 ■シンプルなシステムなので、特殊工具など使わずにフィルター交換が可能 ■ハニカム構造で圧力損失がとても低いので、ブロアーへの負荷を軽減できる など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
さまざまな汚染物質からウエハーやレンズを保護し、寿命を最大限にするフィルタ
「リソガードBSＭmax フィルタ」は、空気中の塩基性・酸性および有機ガスといった汚染物質に対して高い除去性能を発揮するキャビネット収納タイプのケミカルフィルタです。 さまざまな汚染物質からウエハーやレンズが汚染されないよう保護し、寿命を最大限に保ちます。半導体製造装置はもちろん、超清浄環境が要求される設備・エリアへ供給する空気中の汚染物質の除去に最適です。 【特長】 ■さまざまな汚染物質の除去に使用可能 ・酸性ガス（SO2、HCl、HBr） ・塩基性ガス（NH3、NMP、アミン） ・凝縮性有機ガス（HMDSO、TMS） ■従来の活性炭フィルタと比較して、同等サイズでありながら吸着容量アップを実現 ■Refill プログラムにより、フィルタの再利用が可能 ■グローバルな販売・サービス体制が整っている 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【脱メタル】フォトケミカルの安定性に配慮！様々な要求レベルの金属低減を実現！キレートタイプや非イオン交換型Purifierを追加
イオン交換型Purifierにおける薬液精製では酸の発生によるリスクが懸念として残っていました。これらは化学増幅型レジストの品質を劣化させるリスクのある問題点です。 第1弾として液-液交換による金属除去メカニズムを持つNylon基膜に官能基を修飾したNylonpolarを発表しましたが、第二弾としてキレート構造による金属除去とイオン交換による発生した酸を即座に除去する機構を持つ金属除去Purifierを開発、上梓しました。 Cobetterでは、メタル除去に関する幅広いソリューションをユーザー様に提供すべく、新たな視点での金属除去機構を兼ね備えたPurifierを引き続き開発していきます。 メタル低減がうまく達成できない、イオン交換による酸発生の悪影響で薬液安定性に対する懸念が払拭できないなど、薬液精製に新しいソリューションを適用されたい方は必見です。 全ての金属に万能な金属除去性能を発揮するPurifierを探すことは至難の業ですが、ソリューションの引き出しを多く持っておくことを強く推奨いたします。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
