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設備の小型化、省エネに貢献！線材等の加熱に適した小型の雰囲気炉
『マントルヒーター』は、線材等の加熱に適した小型の雰囲気炉です。 熱源に中赤外線を放射するヒーターを配置し、炉内（石英ガラス管内）に 赤外線を放射します。線材など細い対象物に対して大型炉を使用せず 設備の小型化、省エネに貢献いたします。 【特長】 ■クリーン(赤外線方式) ■素早い立ち上がり ■ヒーター連結で温度プロファイルの作成が可能 ■熱源に中赤外線を放射するヒーターを配置 ■設備の小型化、省エネに貢献 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ガス切替＋加湿/気化器ユニットで、焼成・反応評価・熱CVDを1台で検討
「マルチ雰囲気炉」は、真空・不活性雰囲気に加え、H2、NH3、O2など複数の雰囲気ガスを切り替えながら加熱できる汎用型の雰囲気炉です。 酸化、還元、窒化、加湿雰囲気での焼成など、複雑な反応条件を1台で再現できるため、材料開発・表面処理・粉末焼成・反応評価に適しています。 また、Wetterによる加湿ラインだけでなく、気化器を組み合わせることで、液体原料や有機金属溶液を気化導入する熱CVD炉としての構成も検討可能です。 薄膜形成、表面改質、コーティング、前駆体反応評価など、通常の雰囲気焼成より一歩進んだプロセス開発にも活用できます。 【特長】 ■ 真空、不活性、酸化、還元、窒化雰囲気に対応 ■ H2、NH3、O2、N2、Arなど各種ガスを切替可能 ■ Wetter接続により加湿雰囲気焼成に対応 ■ 気化器接続により熱CVDプロセスにも拡張可能 ■ 最高温度1700℃、昇温速度10℃/minに対応 ■ 排気・除害・安全機器との連携も検討可能 ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。
