電子部品向けフォトマスク『表面コーティング』
コーティングによる長寿命化でコストメリット創出！半導体マスクのことなら竹田東京プロセスサービスへ。
【適用マスクとそのメリット】 ■クロムガラスマスク…防汚性・清掃性の向上 ■エマルジョンガラスマスク…耐久性向上(膜面保護・擦傷防止) ■フィルムマスク…耐久性向上(ESD対策) 【コーティングの特徴】 ◆透過率（波長：365nm）…95％以上(未コートガラスとの相対値) ◆UV照射耐性（10 000J/cm2照射）…低下なし ◆密着性（碁盤目試験）…剥がれなし ◆耐水性（純水で浸漬10分）…変化なし ◆耐溶剤性（アセトン・IPAで浸漬10分）…変化なし ◆耐薬品性（アルカリ液(希釈5%)・酸液(希釈5%)で10分浸漬）…変化なし ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：竹田東京プロセスサービス株式会社 湘南藤沢センター、北陸センター、テクノセンター
- 価格：応相談
