減圧・常圧プロセス用高効率気化器 VU-430A series
減圧・常圧プロセス用高効率気化器 VU-430A
液体マスフローメータLM-3000Lシリーズとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です(US PAT.5372754)。 【特長】 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 各種液体を流量制御し、効率よく気化(US PAT.5372754) ○減圧プロセスから常圧プロセスまで可能 ○最高200℃の高温加熱が可能 ○コンパクトなボディサイズ ○キャリアガスの流量に応じた豊富なバリエーション(50CCM-4SLM) ○RoHS対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業:株式会社リンテック 東京営業所
- 価格:50万円 ~ 100万円