半導体プロセス向けオゾン水生成装置オーダーメイド製造
濃度~100ppm、流量~60L/minの幅広い適応範囲!多種多様な要求に対応
当社では、『半導体プロセス向けオゾン水生成装置のオーダーメイド製造』 を行っております。 半導体・FPD分野の製造プロセスにおける洗浄用途に活躍。 用途に応じたカスタマイズが可能なオゾン水生成装置です。 洗浄、レジスト剥離用途に適合、枚葉式洗浄装置にも好適です。 【特長】 ■旋回流式溶解法を採用 ■金属汚染のないクリーンオゾン水 ■幅広い要求に対応 ■カスタマイズ歓迎 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:エコデザイン株式会社
- 価格:応相談