ガスフローセンサー『SFM5500-0.5slm』
一台で複数の流量範囲に対応！0.5slmの複数ガス用高圧マスフローメータをご紹介
『SFM5500-0.5slm』は、ドリフトすることがなく、稼働中に再校正する 必要がないマスフローメーターです。 一台の機器で一般的なマスフローメーターの複数の流量範囲に対応でき、 金属ボディーを採用しているため、さらに高圧耐性を可能にしています。 また、フルスケール流量は0.5slm/500sccmです。 ご用命の際は、お気軽に当社までお問い合わせください。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.5 slm ■フルスケール流量：500 sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air O2 N2 Ar CO2 He H2 CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：センシリオン株式会社
- 価格：応相談
