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金属ボディーを採用しているため、さらに高圧耐性を可能にしています！
『SFM5500-10slm』は、マイクロ熱量測定原理に基づいて、センシリオンの 実績のあるCMOSens MEMS技術を活用しているマスフローメーターです。 当製品は、ドリフトすることがなく、稼働中に再校正する必要がありません。 また、マルチガス校正と交換可能な継ぎ手を組み合わせており、医療、分析、 産業の業界の用途に適しております。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：10slm ■フルスケール流量：10000sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air O2 N2 Ar CO2 He H2 CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
マルチガス校正と交換可能な継ぎ手を組み合わせ！医療、分析、産業の業界の用途に好適
『SFM5500-2slm』は、フルスケール流量が2slmの複数ガス用高圧 マスフローメータです。 CMOSens MEMSフローセンサーが実現する非常に広い測定範囲によって、 一台の機器で一般的なマスフローメーターの複数の流量範囲に対応。 また、金属ボディーを採用しているため、さらに高圧耐性を可能にしています。 ご用命の際は、お気軽に当社までお問い合わせください。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：2slm ■フルスケール流量：2000sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air O2 N2 Ar CO2 He H2 CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
半導体や分析機器、医療機器、 産業オートメーションの用途に好適！
『SFM6000D-5slm』は、SFC6000マスフローコントローラーのバルブレス 姉妹品で、優れた性能をさらに低価格で提供するガスフローセンサーです。 熱質量測定の原理をベースに、実績のあるCMOSensMEMS技術を採用する、 センシリオンはクラス最高レベルの性能と応答速度を備えたマスフロー コントローラーを提供。 これは、市場に流通する他のほとんどのデバイスとは異なり、ドリフトせず、 サービスの再調整も不要です。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：5slm ■フルスケール流量：5000sccm ■精度：0.2％FS or 2％SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air N2 O2 N2O Ar and CO2 flow ■流体コネクタポート：Push-in 6mm downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ガスクロマトグラフィー、バイオリアクターといった分析機器や産業オートメーション用途に！
『SFM6000D-20slm』は、SFC6000マスフローコントローラーのバルブレス 姉妹品で、優れた性能をさらに低価格で提供するガスフローセンサーです。 SFC6000は非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を 最適化。特にポータブルデバイスにとって決定的な利点となります。 熱質量測定の原理をベースに、実績のあるCMOSens MEMS技術を採用する、 センシリオンはクラス最高レベルの性能と応答速度を備えたマスフロー コントローラーを提供します。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：50slm ■フルスケール流量：50000sccm ■精度：0.2％FS or 2％SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air N2 and O2 flow ■流体コネクタポート：Push-in 6mm downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
