超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV30/30SHシリーズ』
接ガス部のネジ構造を排除!非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現!
『S-TORRV30/30SHシリーズ』は、一次室の流路にフィルターを内蔵し、 内部リーク発生を低減している超高純度ガス用圧力調整器です。 本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール 構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して お使いいただけます。 一次低圧用の標準機種として低圧配管やアウトレットパネル、充填圧の低い 圧縮ガスのシリンダーキャビネットなど広くご使用いただいております。 【特長】 ■一次側低圧用標準機種 ■TORR調整器をベースに開発 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
- 価格:応相談