高純度ガス用圧力調整器『TORR-2500シリーズ』
出荷検査を全数に実施!一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減!
『TORR-2500シリーズ』は、長い実績により高い信頼を頂いている 半導体ガス用圧力調整器の代名詞 とも言える圧力調整器です。 一次高圧用の大流量機種として「TORR-2300」よりも流量の求められる ガス供給設備などで使用可能。Heリークテストを含め、出荷検査を 全数に実施しています。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っており、フィルターを 内蔵しておりませんので配管にフィルターを施工ください。 【特長】 ■一次側高圧用大流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■「TORR-2300」よりも流量の求められるガス供給設備などで使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
- 価格:応相談