超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRVT50シリーズ』
出荷検査を全数に実施!タイドダイヤフラム式の超高純度ガス用圧力調整器のご紹介
『S-TORRVT50シリーズ』は、タイドダイヤフラム式を採用し、液化ガスの 供給に強い構造となっている超高純度ガス用圧力調整器です。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。接ガス部から スプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減しました。 加温供給を行うことで、蒸気圧が1.0MPa以上になるガスについても 対応でき、最高使用圧力は2.5MPaとなっています。 【特長】 ■液化ガス用タイドダイヤフラム式機種 ■TORR調整器をベースに開発 ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
- 価格:応相談