ガス圧力調整器×日酸TANAKA株式会社 - メーカー・企業と製品の一覧

高純度ガス用圧力調整器『TORR-2300シリーズ』

内部リーク発生を低減！一次減圧設備や蒸気圧の高い液化ガスの一次減圧設備で使用可能

『TORR-2300シリーズ』は、電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整器です。 TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器で、Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。一次高圧用の中流量機種として「TORR-1300」よりも流量の求められる一次減圧設備や蒸気圧の高い液化ガスの一次減圧設備でお使いいただいております。【特長】 ■一次側高圧用中流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。