更新日： 集計期間:2025年10月01日～2025年10月28日
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ウエハー・FPDの大口径化に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮
冷却水不要なのでコンパクトな自由設計！20000時間以上の長寿命！
コンパクトドライ真空ポンプは小型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分析機器、加速器など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ○排気速度230L/minと500L/minをラインナップ ○到達圧力0.5Pa ○コンパクト設計で移動も簡単（15～20kg） ○潤滑油を仕様せず完全オイルフリー ○TMPの補助ポンプとして利用 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
減圧濾過・減圧乾燥に最適な、オイルレスの小型真空ポンプです。
減圧濾過・減圧乾燥に最適な小型真空ポンプです。オイルレスなので、面倒なオイルのメンテナンスが必要ありません。安価ながら、サーマルプロテクター搭載の安全設計。移動に便利な持ち手もついていますので、ちょっと減圧したいときにその場へ持ち運び、ご使用いただけます。 ●ピストン駆動のドライポンプで、潤滑油や定期的なオイル交換等のメンテナンスが不要です。 ●吸引口には粒子や水分をトラップするためのフィルターカートリッジが装備されています。 ●真空を調整する真空レギュレーター付き。 ●過熱時にポンプを自動的に遮断し、温度が冷えると作動を再開する熱保護装置が内蔵されています。 ※本製品は耐溶剤仕様ではございませんのでご注意ください。
低騒音・低振動で快適な作業環境を実現
『ECODRY plus』は会話やエアコンの音よりも静かな小型ドライポンプです。 サイレンサーを内蔵しており、運転音はわずか52dB未満と超低騒音を実現。 振動も少なく、作業に集中できる環境づくりに貢献します。 パーティクルが排気チャンバーに侵入せずクリーンな真空を確保するほか、 オイル・シール交換といったメンテナンスが不要。デモ機を用意しています。 【特長】 ■研究所など静かでクリーンな環境が求められる空間に好適 ■水蒸気排出量の許容値が高い ■軽量・コンパクト ■キャスター付きで移動が簡単 ※「PDFダウンロード」から製品が掲載された資料をご覧いただけます。
高効率モータ搭載で省エネと低騒音を実現！プレミアムパッケージ真空ポンプ
アンレットの『FTPシリーズ』は、高効率モータ搭載により、 次世代の効率を実現した、ドライ真空ポンプです。 従来機よりモータ容量をワンランクずつダウン。 必要な真空度に合わせて回転速度を調整するほか、 IE3モータと合わせ、大幅な省エネを実現します。 また、目標圧力値に対し、現在圧力値から適切な運転を検出。 運転の必要がない号機は停止することで、さらなる省エネに貢献します。 【特長】 ■省エネ・低騒音を実現 ■簡単タッチパネル操作で電力コストを最適化 ■複数台使用する場合は台数制御で省エネ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
水封式真空ポンプからドライ真空ポンプへの切替のご提案
『オートドレントラップ AADT』は、気体と液体(ドレン)を 同時吸引しても、真空ポンプへの液体を防止できる ドライ真空ポンプです。 水などの液体を99％除去し、真空ポンプ運転中も真空度を 損なうことなくドレンを排出できるため、 長時間連続運転が可能です。 【特長】 ■水封式ポンプに比べ、電気・水道代が、約3割安くなる ■連続運転しながらドレン排出が可能(真空度：-50～-90kPa) ■ドレン排出量 ・50Hz地区：20L/min ・60Hz地区：25L/min ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ロボットのピック＆プレイスや真空包装、印刷業界での紙葉類処理を効率化する真空・加圧ソリューション！
【製品説明】 実績に裏打ちされたロータリーベーン原理で高速排気。ドライ式で排気がクリーン。これらの特徴が、スピードが肝心のロボットのピック＆プレイスや、クリーンな排気が重要となる真空包装、印刷業界での紙葉類処理でSECOが採用されている理由です。 【特長】 ■コンパクト：真空／圧縮空気源として各種装置に組み込み可能 ■終身潤滑ベアリング：優れたアップタイムを実現 ■自己潤滑ベーン：封液や潤滑液を使わないドライな圧縮が可能 ■高信頼：確立されたロータリーベーン原理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
リーク性能が2ケタ向上！スクロール真空ポンプ「ISP-250E」が新発売 ※デモ機貸出し中！
アネスト岩田のドライ真空ポンプ「ISPシリーズ」にISP-250Eが新しくラインアップに加わります。従来モデルに対してリーク性能が2ケタ向上！1年目または8000時間のメンテナンスではクリーニング・グリスアップのみとなり、メンテナンスコストを大幅に削減しました。 お客様に進化を実感していただけることを目指したモデルとなっておりますので、デモ機の貸出しをご希望の方は、お問い合わせ内容に『デモ機希望』とご記載いただければ幸いです。 ※ご使用用途によって貸出しができない場合がございます。 【特長】 ◆1年目または8000時間毎のメンテナンスではクリーニング・グリスアップのみ ※当社が推奨している使用状況で標準的なメンテナンスの場合 ◆部品の素材変更によりリーク性能が2ケタ向上 ◆ISP-250Cをご使用のお客様は本体交換によりISP-250Eにアップグレードが可能 ※総合カタログも進呈しております。詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。
凝縮液に対して極めて強靭！ケミカルプロセス用の縦型ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
押出成形機のベントガス用として実績多数あり！押出成形機用の縦型ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
装置メーカーへの導入実績多数！押出成形機用のドライ真空ポンプ
『TRMシリーズ』は、長年の経験と数々の実績を持った汎用ルーツ形ドライ真空ポンプです。 中間冷却器により効率よく安定した温度で運転が可能です。 また、溶剤等の凝縮液の回収が可能で、真空乾燥、蒸留、脱ガスなどの凝縮性ガスの吸引に最適なドライ真空ポンプです。 ドライ真空ポンプ単体で約2m³/minから35m³/minまでの広範な排気速度をカバーすることが出来、ステンレスなど耐食材質製とする特殊仕様にも対応することが出来る汎用ドライ真空ポンプです。 【特長】 ○幅広い作動範囲 ○完全ドライ ○水の汚染がない ○長期の連続運転 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
内部で発生した凝縮液は運転中でもドレンタンクで回収が可能！乾燥装置用真空ポンプとして実績多数あり
『TRMシリーズ』は、長年の経験と数々の実績を持った汎用ルーツ形ドライ真空ポンプです。 中間冷却器により効率よく安定した温度で運転が可能です。 また、溶剤等の凝縮液の回収が可能で、真空乾燥、蒸留、脱ガスなどの凝縮性ガスの吸引に最適なドライ真空ポンプです。 ドライ真空ポンプ単体で約2m³/minから35m³/minまでの広範な排気速度をカバーすることが出来、ステンレスなど耐食材質製とする特殊仕様にも対応することが出来る汎用ドライ真空ポンプです。 【特長】 ○幅広い作動範囲 ○完全ドライ ○水の汚染がない ○長期の連続運転 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
内部で発生した凝縮液は運転中でもドレンタンクで回収が可能！乾燥装置用真空ポンプとして実績多数あり
『TRMシリーズ』は、長年の経験と数々の実績を持った汎用ルーツ形ドライ真空ポンプです。 中間冷却器により効率よく安定した温度で運転が可能です。 また、溶剤等の凝縮液の回収が可能で、真空乾燥、蒸留、脱ガスなどの凝縮性ガスの吸引に最適なドライ真空ポンプです。 ドライ真空ポンプ単体で約2m³/minから35m³/minまでの広範な排気速度をカバーすることが出来、ステンレスなど耐食材質製とする特殊仕様にも対応することが出来る汎用ドライ真空ポンプです。 【特長】 ○幅広い作動範囲 ○完全ドライ ○水の汚染がない ○長期の連続運転 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
食品プラント、化学プラント向けに実績多数ありの縦型ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
縦型のダウンフロー構造により、凝縮液の発生に対して極めて強靭な乾燥装置用ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
