【資料】製造現場の大粒子汚染
大粒子による汚染の場合、ISOでのクリーンルームの清浄度がワーク表面の清浄度を担保しているとは限りません。
当資料は、製造現場での大粒子汚染について紹介しています。 大粒子はクリーンルームでの基礎要件となる微小粒子の拡散方程式からは外れます。 粒子の質量(大きさ、密度)による特質(沈降速度・飛行曲線)、出現頻度の高低 など0.3umや0.5umをターゲットにする場合とは違う要素があります。 また、パーティクルカウンタ自体の性質を知ることが、よりよい情報を得るための ノウハウとなります。 製造現場の大粒子汚染についてお困りの際に活用ください。 【掲載内容】パーティクルカウンタによる大粒子測定の問題点と提案 ■環境クリーンレベルは出ているのに何故表面が汚染されるの? ■粒子の大きさによる特質(振る舞い)を知る ■参考:重力沈降データ ■大粒子の特性をまとめると ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社パーティクルプラス
- 価格:50万円 ~ 100万円