RFジェネレータ『T847C-1／T847C』
高周波を用いて行うスパッタリング、プラズマ放電装置等に対応できる高周波電源装置
『T847C-1／T847C』は、13.56MHz帯のソリッドステート型高周波発生器です。 各種の負荷インピーダンスに対応させる為の手動整合器又は自動整合器を 搭載。また、高周波を用いて行うスパッタリング、プラズマ放電装置等に 対応出来ます。 さらに高周波出力電力は最大100Wで、その出力電力は可変することが出来、 その制御方法は当製品又は外部より0～5VDCを加えることにより、その電圧に 対応した高周波出力電力が得られます。 【特長】 ■高周波出力電力は最大100Wで、可変することが可能 ■入力電源電圧は100VAC型と90～264VAC型の2種類をご用意 ■運用操作は、当製品以外に外部からのリモート運用も可能 ■自動整合器を搭載(T847C) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- Company：クリエート・デザイン株式会社 クリエート・デザイン株式会社
- Price：応相談
