NM_FZくさび形ステージ（精密位置決め装置）
ウエッジ角度によるエラーが皆無
FZくさび形ステージ（FZ080）は、くさび形機構による精密な垂直移動ステージです。80mmの正方形のステージは、直線移動するために精密なクロスローラーを利用しており、垂直方向に10mmの移動が可能です。くさび形機構は、高精度の光学位置センサーを使用して、垂直変位をエンコードしています。そのため、任意の方向からのアクセスを提供できます。
- Company：株式会社工苑
- Price：応相談
クサビ形ステージ(超音波モータ) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS
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