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電動ＸＹステージとオートフォーカス機能を搭載！
『TOMOS-60XY』は、表裏両面を同時撮影、寸法計測、 位置ずれ計測が可能な両面顕微鏡位置ずれ計測システムです。 【用途】 ■観察：電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体、フィルターなどの表裏同時観察 ■表裏位置ずれ計測：水晶振動子、ＭＥＭＳなどのアライメントマーク、貫通穴の表裏位置ずれ計測 ■表裏寸法計測：水晶振動子、半導体線幅パターンなどの表裏寸法計測 ※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せ下さい。
FA自動化へ対応可能なシステム！両面ともにAFを搭載可能で、再現性が高い計測ができます
『TM-200』は、AF機能を搭載し、表裏の位置ずれを高精度に自動計測できる 両面顕微鏡位置ずれ計測システムです。 小型化高精度化し、両面の位置ずれを±1umで測定可能。 下側にIRカメラも搭載可能で、内部の位置ずれも計測できます。 電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体などの表裏同時観察、動画記録の 用途にご使用下さい。 【特長】 ■AF機能を搭載し表裏の位置ずれを高精度自動計測 ■小型化高精度化し、両面の位置ずれを±0.5umで測定 ■FA自動化へ対応できる ■両面ともにAFを搭載可能で、再現性が高い計測ができる ■下側にIRカメラも搭載可能で、内部の位置ずれも計測できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
