対応極細ヒータ(金属加熱) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

半導体・真空装置の高度な温度管理に！900℃対応極細ヒータ

最高900℃の高温部と低温部を1本に共存！ピッチ調整で精密加熱を実現。1.6mm径の手曲げ加工性で先端装置の設計を加速。

装置の小型化や複雑な形状への加熱設置に頭を悩ませていませんか？ 本製品は金属パイプ内にコイル状の発熱線を仕込んだヒータです。 発熱線の太さやコイルピッチが自在に変更できるため限られたスペースでの容量の最適化が可能です。 φ1.6～φ4.8の細径を実現し、これまで配置が困難だった狭小スペースへの取り付けもできます！ 最高900℃の加熱部と低発熱部を1本で構成できるため、ポート冷却などの複雑な設計も省略。 半導体製造装置や燃料電池、分析機器などの現場で、設計自由度の拡大に貢献します。 【特長】 ■ベンダーマシン不要で複雑形状への手曲げ加工が可能 ■ピッチ調整による同一シース内での均一・傾斜温度分布制御 ■最高900℃の高温部と真空ポート保護用の低発熱部を共存 ■φ1.6からの細径化で小型被加熱物や狭小スペースに配置可能 ■半導体製造装置の真空環境や燃料電池、分析計測機器に対応 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。