真空圧センサー|高真空度測定用 ピラニ式 真空圧センサー
低電圧駆動で洗浄可能な真空圧センサーです。半導体製造装置向けの高真空度測定用途に適しています。
MEMSピラニ式真空センサー「PVC1000シリーズ」は、超低消費電力、長寿命、最小限のメンテナンス、低コストを実現しつつ、真空測定手段の小型化を実現いたします。 測定範囲 10^-3～30 mmHg 5mmHg以下の範囲で±5%の高精度 湿度: 0~100% (非結露) 温度補正範囲: -40 ～ 125℃ 耐久圧力: 27.5Bar
- Company：オールデバイス株式会社
- Price：応相談
