顕微分光膜厚計の膜厚解析
表面粗さを考慮した膜厚解析
サンプル表面に粗さがある膜の場合は、膜の理論反射率と異なるため解析が難しくなります。 OPTMでは粗さ層はEMA法（有効媒質近似法）でモデル化して評価することが可能です。
- Company：大塚電子株式会社
- Price：応相談
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