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金属イオン汚染を制御。高純度プロセスをフッ素樹脂で守る。
半導体製造では金属イオンの汚染が直接的に歩留まりを低下させます。 フッ素樹脂コーティングは金属面を安定した化学的不活性被膜で覆い、金属イオンの溶出を極限まで抑制。 高純度プロセスの品質安定と良品率の向上に貢献します。 吉田SKTは数少ないテフロン(TM)コーティング正規加工業者として、 2、000社以上の実績と数百種類の表面処理技術を持つスペシャリストです。
搬送・洗浄・エッチング・CMP・めっき・検査まで。半導体製造の幅広い工程を支えるコーティング
AI需要の拡大に伴い半導体製造装置の高稼働・高精度化が進む中、腐食・付着・摩耗・帯電などの表面起因トラブルを抑えることがますます重要になっています。 フッ素樹脂コーティングは、 ・耐薬品性 ・非粘着性 ・すべり性 ・絶縁性 ・純粋性 の5つの特性により、搬送・洗浄・エッチング・フォトマスク・CMP・めっき・検査といった幅広い工程の課題を解決します。 吉田SKTはテフロン(TM)コーティングのパイオニアとして2、000社以上の実績を持ち、 数百種類の表面処理技術からお客様の工程・装置に最適なカスタマイズ提案を行います。 各工程での具体的な適用例は資料をダウンロードしてご確認ください。
