【特徴】 ○コンパクトな加湿器 →燃料電池用ガス供給装置の小型化に最適 →特に装置の高さ方向に威力を発揮（高さ約2,500mm） ○内部の液量が少ない →バブリング式に比べて短時間の露点切り替えが可能 ○フロート式液面センサーを内蔵 →誤動作の無い正確な液面管理が可能 【仕様】 ○供給ガス：N2、Air、H2他 ○供給（入口）圧力：大気圧力～0.3MPa ○供給流量：0.05～2SLM （L/min:0℃、１気圧換算） ○露点（精度保証）範囲：40℃～80℃ →40℃以下、80℃以上はお問い合わせ下さい ○露点精度：±1.5℃ ○安定度：±1℃ ○使用（精度保証）温度：10～35℃ ○暖気時間：約15分 ○ガス取合い：入口・出口とも三方ボールバルブ（標準付属） ○取合い：1/4インチSWL相当 ○耐圧：0.4MPaG ○電源：AC100V±10%、約500VA ○液面計：H ,M　2点式標準付属 ○オプション：循環水強制冷却装置、電磁（空圧)弁 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• 燃料電池
• 温湿度制御

【特徴】 ○誰にでも簡単に高精度露点ガスの発生が可能 ○取扱いが簡単でメンテナンスが容易 ○昇温時の応答時間が短くかつ安定性に優れる ○液面センサーの信頼性が高い ○対象ガス流量・圧力 →流量：1SLMから400NLMまで取り揃え ております。 →圧力：大気圧～0.3MPaまで使用可能 ○対象ガス →N2,Air,H2等、水に溶け込まないガス →CO2等の水溶性ガスの場合は別途ご相談願います ○システム →加湿ガス発生システム、高速露点制御システム等製作 【主な仕様】 ○圧力損失：10Kpa以下 ○供給流量：1.0、1.5、3、5,10、30、50、100SNLM（L/min：0℃、1気圧換算） →200SLM以上はお問い合わせ願います ○露点（精度保証）範囲：40～90℃ →40℃以下、90℃以上はお問い合わせ願います ○バルブ：ボールバルブ入口・出口とも標準付属 ○露点精度：±1℃ ○繰返し再現性：±0.5℃ ○使用（精度保証）温度：0～40℃ ○暖気時間：約30分 ○耐圧：0.5MPaG ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• 燃料電池
• 温湿度制御

【特徴】 ○コンパクトなガス供給装置なので場所を選ばない ○加湿器内部の液量が少ないので、短時間での露点の変更が可能 ○液面センサーを内蔵しているので、純水の補給が自動で行える ○ガス供給ラインの温度調節機能を備えているので、安定した露点が供給できる ○加湿器内部水位センサが『L』レベル以下の場合は、ヒータが動作しない安全設計 【主な仕様】 ［流量制御］ ○方式：差圧式質量流量計 ○型式：AFC-150 ○流量フルスケール →H2ライン：500nccm（0℃　1気圧） →Airライン：1000nccm（0℃　1気圧） ○流量制御範囲 →H2ライン：10-500nccm →Airライン：20-1000nccm ○流量精度：±１％FS ○材質：SUS-316 ○流量設定器：CD-200 ○方式：シャワー式加湿器 ○型式：HG-110 ○露点制御範囲：40-80℃ ○露点精度：±１℃ ○材質：アルミニウム（アルマイト処理） ○冷却機能：空冷ファン ○水位レベル計：3点式（HH、H、L） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• 燃料電池
• その他プロセス制御

【仕様】 ［小・中流量タイプ（高精度ピストンプルーバ式流量計使用）］ ○測定ガス中の水分濃度、圧力温度を正確に測定 ○燃料電池評価装置で制御しているMFCの流量を正確に測定 ○持ち運び可能なケースに収納 ○流量測定範囲：0.005NLMから75NLM ○精度：±１％以内（絶対値での精度） ○圧力：0-150KPa ○温度：0-40℃ ○湿度：相対湿度0-30％ ○ガス：H2,Air,N2 ［大流量タイプ（低差圧高精度流量計使用）］ ○各燃料電池評価装置の測定値のバラツキの原因究明や信頼性向上に最適 ○流量測定範囲：100NLMから2000NLM　H2：500NLM　Air　2000NLM ○精度：±１％以内（絶対値での精度） ○圧力：0-150KPa ○温度：0-40℃ ○湿度：相対湿度0-30％ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• 燃料電池
• 流量制御
• その他検査機器・装置

【ラインナップ】 ○大流量流量制御器 DPFCシリーズ ○流量制御器排圧調整器 AFCシリーズ ○バブリング式加湿器 BOシリーズ ○シャワー式加湿器 HGシリーズ ○排圧調整器 ○流量検定システム ○H2ガスセンサー用混合器 ○燃費測定装置 ○ガス混合器 ○高低温ガス発生器 ○自動圧力制御器 APシリーズ ○低価格流量制御器 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• 燃料電池
• 流量制御
• 温湿度制御

【特徴】 ［高精度基準流量校正器　ML-800/ML-500シリーズ］ ○高精度 ○操作は簡単、スタートスイッチを押すだけ ○水・界面活性剤を使用せず、完全ドライ測定 ○5mlから50L／分まで測定可能 ○NIST適合品 ［基準流量計 Definer220/Defender500シリーズ］ ○小型軽量・低価格の現場持込タイプ ○Defender510,520は体積流量の測定器 ○Definer220,Defender530は標準状態 　（0℃一気圧）に測定流量を換算可能 ○給排気の接続により吸引流量の測定も可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 流量計

【特徴】 ［排気圧力コントローラ　AP310-RV］ ○加湿ガスの広範囲な圧力制御が可能 ○シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 ○圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動的に排気圧力を制御 ○排気圧力の設定値を外部制御可能(RS485、アナログ) ○構造もシンプルで小型化を実現 ［微小圧力制御用排気圧力コントローラ　AP300］ ○ダブルダイヤフラム構造による自己補正 →二次側圧力変動の影響を受けない ○シートリークが小さいので、小流量から使用可能 ○陽圧時にはバルブが開放される安全設計 ○排気圧の設定値を外部制御可能(RS485、アナログ) ○圧力コントローラ、圧力センサーのすべてを内蔵 ○腐食性ガスに対応 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• コントローラ
• 圧力制御

【特徴】 ○世界最小の圧力コントローラ ○マイコン内蔵によるデジタル制御 ○DC24V単一電源で動作 ○表示設定器からデジタル設定 ○RS485による遠隔操作 ○異常時閉の安全設計 ○緊急遮断信号入力 ○アラーム上下限個別設定 ○圧力センサ内蔵（AP160M) ○アナログ設定信号入力可能 ○高速応答 【ラインナップ】 ○AP160M/CV150シリーズ →半導体用クリーンガス使用可能 ○AP100/AP150シリーズ ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• コントローラ
• 圧力制御

【特徴】 ○小型で大流量の圧力制御が可能　　AP-200　150SLM ○ガス流量変動により圧力変化無 ○応答速度1秒以内の高速制御可能 ○圧力の設定値を外部制御 可能(RS485,アナログ) ○NCタイプの安全設計 ○工場オプションにて停電時圧力保持も可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• コントローラ
• 圧力制御

【特徴】 ○枚葉式洗浄装置を始めとした排気ダクトラインの圧力変動による 　製造プロセスのユラギを防ぐための機器 ○独自に開発した空圧駆動ゴム膨張バルブ →小型かつ極低圧損で高速での圧力制御が可能 ○排気圧力を適切に制御することで、排気流量も適正に管理 ○排気ダクトの総流量・圧力管理で、大幅なエネルギーコストの削減が可能 【仕様】 ○排気配管：150A、125A、65Aへ対応 ○調整圧力（一次側）：－50～－999Pa ○流量：10ｍ3/分へ対応（150Aの場合） ○応答速度：2秒以内 ○圧力損失：10Pa以下（最大流量時） ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• コントローラ
• 圧力制御
• 流量計

【特徴】 ○小型で大流量の計測可能 ○流量計は極低圧損 ○微差圧計測により、ほとんど配管抵抗と同等高速応答 【対象ガス流量・圧力（ターゲット）】 ○流量 →DPFC-250：100SLM～500SLM →DPFC-500：1000SLM～5000SLM ○圧力：大気圧　～0.99MPa ○基準校正圧力：0.2MPa、0.5MPa （指定要） ○対象ガス：N2、Air、H2、CH4、Ar、CO2他　水素はMax1000SLM ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 流量制御
• その他プロセス制御
• コントローラ

【特徴】 ○微少流量から大容量まで計測可能 ○素子の選定により10nccmから50NLMまで対応可能 ○全流方式での流量計測・制御 ○流入するガスの一時的な水分混入や凝縮に強い ○高速実流量応答制御実現 ○ガス系の温度・圧力情報も出力 ○ガス供給系の診断に最適 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 流量制御
• その他プロセス制御
• コントローラ

【掲載製品】 ○差圧式質量流量制御器　AFC-150/AFM ○大流量差圧式質量流量制御器　DPFC-250/DPFM ○大流量（1000NLM以上）差圧式質量流量制御器　DPFC-500/DPFM ○自動圧力コントローラ　AP200シリーズ ○自動圧力コントローラ　AP100シリーズ ○自動背圧コントローラ ○排気圧力コントローラ　EPSシリーズ ○NT合金ガスケット ○微量還元ガス分析計　TRA1000 ○高精度基準流量計　BIOS社流量計 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 流量制御
• その他プロセス制御