アップ・テック・ジャパンの製品・サービス一覧

『Point-of-Use-Purifiers』は、プロセスガス中の不純物レベルを 100PPT以下にする必要がある超高純度のアプリケーション向けに設計された 室温型ガス精製器です。 熱を加えることなく不純物を除去。 Novaシリーズ・インライン精製装置はヒーター、温度表示、 および制御が組み込まれています。 また、ProPanelシリーズ精製装置は高度な自動制御を提供します。 【特長】 ■0.3から20slpmの公称流量 ■4.5から300slpmの最大流量 ■316Lステンレス鋼構造 ■一体型Perticle filter内蔵 ■簡単な設置 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

• ガスフィルタ

『600シリーズ』は室温型ガス精製器で、窒素や希ガス、水素、アンモニア、 アルシン、ホスフィン、HCI等を含めた様々なガスから不純物を 除去するように設計されたガス精製フィルターです。 寿命は公称流量で標準的な5N5(99.9995%)のガスを基準として 約1年となっております。具体的な寿命についてはお問い合わせください。 【特長】 ■ガスに含まれる不純物はほとんどの場合、1ppb未満にまで除去 ■最大流量：30slpm ■公称流量：6slpm ■最大圧力：0.97MPa(200psig) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

• ガスフィルタ

『250シリーズ』は、最大流量10slpm・公称流量2.0slpmのガス精製フィルターです。 窒素や希ガス、水素、アンモニア、アルシン、ホスフィン、HCI等を含めた 様々なガスから不純物を除去するように設計されています。 ガスに含まれる不純物はほとんどの場合、1ppb未満にまで除去されます。 【特長】 ■用途に合わせて柔軟に対応できるように設計 ■流量を基準とした各サイズに加えて多種多様なバルブ形状 　およびフィルター形状も取り揃え ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

• ガスフィルタ

『125シリーズ』は、用途に合わせて柔軟に対応できるように設計された 室温型ガス精製器です。 窒素や希ガス、水素、アンモニア、アルシン、ホスフィン、HCI等を含めた 様々なガスから不純物を除去。ほとんどの場合、ガスに含まれる不純物は 1ppb未満にまで除去されます。 【特長】 ■寿命 　・公称流量で標準的な5N5(99.9995％)のガスを基準として約1年 　※具体的な寿命についてはお問い合わせください ■最大流量：5slpm ■公称流量：1slpm ■最大圧力：0.97MPa(200psig) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

• ガスフィルタ

『02Kシリーズ』は、室温型ガス精製器で、ガスに含まれる不純物を ほとんどの場合1ppb未満に除去するガス精製フィルターです。 窒素や希ガス、水素、アンモニア、アルシン、ホスフィン、HCI等を 含めた様々なガスから不純物を除去するように設計されています。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■寿命 　・公称流量で標準的な5N5(99.9995%)のガスを基準として約1年 　(具体的な寿命についてはお問い合わせください。) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

• ガスフィルタ

『01Kシリーズ』は室温型ガス精製器で、窒素や希ガス、水素、 アンモニア、アルシン、ホスフィン、HCI等を含めた様々なガスから 不純物を除去するように設計されたガス精製フィルターです。 用途に合わせて柔軟に対応が可能で、流量を基準とした各サイズに加えて 多種多様なバルブ形状およびフィルター形状も取り揃えています。 【仕様】 ■最大流量：50slpm(150psig時の理論値) with FP ■公称流量：10slpm ■材質：本体316L　ステンレス製 ■フィルター 　・内蔵型メタルフィルター　標準：0.1μm　オプション：0.003μm ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

• ガスフィルタ

POUガスフィルター050は室温型ガス精製器で、窒素、希ガス、水素、アンモニア等を含めた様々なガス中から不純物を除去します。 ほとんどの場合、これらのガス中に含まれる不純物は1ppb未満にまで除去されます。用途に合わせて柔軟に対応できるよう設計され、流量を基準に各サイズに加えて、多種多様な形状となっています。 特徴： 〇　超小型で取り付けが簡単 〇　内蔵パーテクルフィルター選択が可能 〇　寿命　は定格流量で標準的な５N５を基準に1年 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• ガスフィルタ

ゲッターポンプ　Insi torr「Fast Pump」は、サエスグループが開発した非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。 このポンプは、アプライドマテリアルズ製PVD、アルミニウムスパッターのために開発されました。 このポンプの開発によってチャンバーがベントしてから復帰して操業に戻るまでの時間が大幅に短縮されます。 【特徴】 ○インシトールファーストポンプをチャンバー内に設置することで 　ダウンタイムを11時間から7時間に短縮される ○既存設備に改造取付が可能 ○フットプリントに影響を与えず、アップグレーディングに威力を発揮 ○パーティクル特性やフィルム特性に何らネガティブな影響を与えない 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空ポンプ

「AlkaMax」は、有機 EL 素子の量産の需要に対応するために十分なアルカリ金属を放出するように設計されました。 サエス・ゲッターズ革新開発研究所で開発されていた「AlkaMax」モデルは、独自な性質のおかげで、安全な取り扱いが保証されています。 これにより「AlkaMax」は、環境規制に完全に適合しています。 【特徴】 ○トップエミッション有機 EL技術のための 　新しいアルカリ金属ディスペンサーモデル ○有機ELディスプレイの大量生産を容易にし、 　駆動電圧や輝度の向上を実現 ○電子注入効率の増加による消費電力の低減を促進 ○いかなる有機ELディスプレイの要求にも合致するよう、 　カスタマイズ可能 ○研究室試験から試験生産、大量生産まで 　蒸着工程における非常に簡単な操作、制御 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 有機EL
• ディスペンサー

「DryFlex」は、OLED用の最も薄い乾燥剤であり、高い吸着速度と薄さで最良トレードオフを提供し、その全表面は活性で、どんなディスプレイ形状にも対応する形状とサイズを完全にカスタマイズすることができます。 OLED デバイス中の「DryFlex」のより優れた性能は、カプセル化技術において新しいレファレンスとなり、OLED と PLED の二つのデバイス構造において、世界中で証明されています。 30％増の長寿命化は、オスラムテクノロジーが、ディスプレイ中に「DryFlex」を使用し達成されました。 「DryFlex」の寿命は光度の寿命を延ばす最良の解決策です。 【特徴】 ○高い吸着速度により、有機 EL ディスプレイの寿命を 30％延長可能 ○最も薄い乾燥剤製品（<100μm） ○どのような OLED ディスプレイ形状にも対応可能 ○吸着中、吸着後の変形、膨張が無い 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 有機EL
• 有機天然材料

水素質量分析器　HEMSは、1pptレベルの検出限界を持つフルスペクトル分析器です。 この分析器は自己校正機能を備え、短いサイクルタイムで、オンラインの不純物モニターとしてご使用いただけます。 コンパクトな上、多様なポイントで素早いサンプルの検証をするため、自動運転で操作がしやすくなっています。 HEMS(水素除去質量分析計)分析器は、Power+Energyが特許を取得しているパラジウムの拡散技術を、先進の四極質量分析と組み合わせたものを使用しています。 他の分析器と比較すると、手頃な価格で幅広い範囲での不純物の検出を提供します。 【特徴】 ○ゼロガス用 ○分析用 RGA チャンバー ○自動運転 ○タッチディスプレイ ○モデル →HEMS T：超高純度ガス分析用、pptレベル →HEMS B：高純度ガス分析用、ppbレベル →HEMS M：SAE J2719/ISO14687-2を必要とする燃料用途、ppm/ppbレベル 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 分析機器・装置
• その他環境分析機器

Peak Performer 1「PDD」は、高感度のパルスディスチャージ方式を採用し、UHPのプロセスガスの用途のために開発されました。 このPDDは操作が簡単で、高性能に不純物をppbレベルまで測定が可能です。 The Peak Performer 1 PDD gas chromatograph(GC)は、Ar,O2,He, and H2ガス中の窒素分を検知します。 【特徴】 ○高感度のパルスディスチャージ方式を採用 ○UHPのプロセスガスの用途のために開発 ○操作が簡単で、高性能に不純物をppbレベルまで測定が可能 ○Ar,O2,He, and H2ガス中の窒素分を検知 ○キャリアガス純度は、<99.999%または高純度Heガス 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 分析機器・装置
• その他環境分析機器

Peak Performer 1「FID」は、高感度水素炎イオン化検出器(FID:Flame Ionization Detector)を使用しております。 このFIDはUHPガスにおけるプロセス用途として既に開発が完了しているもので、気体中の不純物をppbレベルで測定します。 この方式の測定値は広範なレンジに渡りリニアで簡単かつ正確な測定方法です。 PP1の技術は費用効果が高く、また操作が簡単で他社同等品よりも優れています。 これに加えPeak Lab社はこの分野において経験豊富ですので、お客様のアプリケーションに合わせた仕様変更も承ります。 【標準的なアプリケーション】 ○超純バルク プロセスガス(N2/Ar/O2/He)中の 　CH4,CO2,NMHC(非メタン系炭化水素)の濃度測定 ○バイオリアクタ内のCH4測定 ○空気中のCH4測定 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 分析機器・装置
• その他環境分析機器

Peak Performer 1は、化合物低減フォトメータ(Reducing Compound Photometer:RCP)を用い気体中の不純物をppbレベルで測定します。 この方式の測定値は広範なレンジにわたりリニアで簡単かつ正確な測定方法です。 PP1の技術は費用効果が高く、また操作が簡単で他社同等品よりも優れています。 これに加えPeak Lab社はこの分野において経験豊富ですので、お客様のアプリケーションに合わせた仕様変更も承ります。 【標準的なアプリケーション】 ○超純バルク プロセスガス(N2/Ar/O2/He)中のH2,COの濃度測定 ○環境監視ステーション等における空気中のCO濃度測定 ○堆積物研究や地下水のH2濃度測定 ○空気中のエチレンC2H4濃度測定 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 分析機器・装置
• その他環境分析機器