大和機器工業の製品・サービス一覧

『VPSシリーズ』は、高真空に影響を与えず、ビューポートを蒸着物から 守ることができるシャッターです。 シャッター方式はフラッパーで、許容ベーキング温度は200℃。 質量が0.8kgの「VPS-070」をはじめ、1.8kgの「VPS-114」や「VPS-152」 などをラインアップしております。 【特長】 ■高真空に影響を与えず、ビューポートを蒸着物から守る ■シャッター方式：フラッパー ■使用圧力範囲：大気圧～10^-8Pa ■許容ベーキング温度：オートメタル 200℃ ■リーク量：2×10^-11Pa・m3/sec以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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『TRシリーズ』は、超高真空対応のトランスファーロッドです。 豊富な移動距離で、容易なメンテナンス。 真空装置内で回転並びに直線の移動が必要な時に利用されます。 直線移動距離が500mmの「TR-070/500」や、750mmの「TR-070/750」などを ご用意。磁気結合型で磁気回路にサマリウムコバルトを利用しております。 【特長】 ■超高真空対応 ■豊富な移動距離 ■容易なメンテナンス ■真空装置内で回転並びに直線の移動が必要な時に利用 ■磁気結合型で磁気回路にサマリウムコバルトを利用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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『RFDシリーズ』は、滑らかな回転運動を提供するベローズ式回転導入機です。 伝達トルクは0.5Nm～1.6Nmで、ベーキング可能温度は300℃。 オールメタル製なので超高真空対応です。 接続フランジがICF34の「RFD-034」や、ICF70の「RFD-070」をラインアップ しております。 【特長】 ■滑らかな回転運動を提供 ■伝達トルクは0.5Nm～1.6Nm ■ベーキング可能温度は300℃ ■オールメタル製なので超高真空対応 ■特殊形状対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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