エクサの製品・サービス一覧

『EDH』は、接液部に全てPFA・PTFEを使用したフッ素樹脂製ヒーターです。 標準の容量は1KWから5KWで、処理槽の形状に合わせて製作いたします。 その他に、標準以外も製作可能です。 半導体高純度薬品をはじめ、超純水、純水や化学薬品、メッキ関係、 実験装置にご使用いただけます。 【特長】 ■接液部は全てPFA・PTFE製 ■処理槽の形状に合わせて製作 ■標準の容量は1KWから5KW ■標準以外も製作可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他ヒータ

当社が取り扱う『フッ素樹脂製熱交換器』をご紹介します。 シェル＆チューブ式熱交換器「EM-S型」をはじめ、平面状のイマージョン式 熱交換器「EM-U型」や円筒上のイマージョン式熱交換器「EM-R型」などを ラインアップしております。 当社は、長年の経験に基づき、フッ素樹脂の特性を生かした設計で各種用途に 適した熱交換器を提供いたします。 【標準型式】 ■EM-S型 シェル＆チューブ式熱交換器 ■EM-U型 平面状のイマージョン式(槽内設置式) ■EM-R型 円筒上のイマージョン式(槽内設置式) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 熱交換器

『ECN』は、接液部に全てPFAを使用した半導体薬液洗浄装置の インライン用薬液加熱ヒーターです。 ヒーター過熱アラームセンサーと液漏センサーを内蔵し、停電等の急な シャットダウン時の温度上昇は10℃程度で、流動変動や衝撃に強いです。 また、コンパクト設計により設置が容易なほか、電気制御は既設を 有効利用できます。 【特長】 ■接液部には全てPFAを使用 ■低温ヒーター仕様で薬液を劣化させない ■ヒーター過熱アラームセンサーと液漏センサー内蔵 ■流動変動や衝撃に強い ■コンパクト設計により設置が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他ヒータ

『EXS』は、半導体薬液洗浄装置のインライン用薬液加熱ヒーターです。 接液部分は全てPFAを使用しており、低ワット密度の設計で長寿命。 超純水、アルカリ液、酸性液に使用可能です。 また、コンパクトなので設置が容易で、縦・横に設置できます。 【特長】 ■接液部分は全てPFAを使用 ■低ワット密度の設計で長寿命 ■超純水、アルカリ液、酸性液に使用可能 ■コンパクトなので設置が容易 ■縦・横に設置可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他ヒータ

『EHS型超純水加熱インラインヒーター』は、接液部には全てPFAを 使用したフッ素樹脂製の半導体用インダインヒーターです。 不純物の溶出がなく、低温設計ヒーターなので長寿命です。 また、コンパクトなので設置も容易に行えます。 【特長】 ■フッ酸水の使用可 ■常用最高使用圧力は0.4MPa ■常用最高使用温度は150℃ ■ヒーター保護機能つき ■リモート制御が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他ヒータ