『Free Chamber Order System』は、当社が蓄積した、 数々のノウハウを柔軟に組み合わせる事を前提として企画された 真空チャンバ設計システムです。 数々のテクニカルソースを組み合わせる事で、より安価且つ短納期での ご提供を可能にします。 【装置（一部抜粋）】 ■排気系 　・ロータリポンプ 　・ターボ分子ポンプ ■成膜源 　・スパッタリングカソード 　・電子ビーム蒸発源 ■その他機構 　・試料ステージ回転上下機構（自動・手動） 　・シャッタ機構付覗窓 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

• 真空機器
• 加工受託