コンタミネーション・コントロール・サービスの製品・サービス一覧

「SPP=Super Passivation Process」は、ステンレスの表面改質により、 最表層に欠陥のない緻密なCr2O3膜を形成します。 フッ酸や塩酸などのハロゲンガスに対して優れた耐腐食性能が得られ、 真空特性も向上。ステンレスの表面を改質することにより、今までの ステンレスの常識とは違う、様々な現象が解明されてきています。 水素インフラや超高真空の分野においても期待される技術です。 【目的】 ■腐食対策 ■メタルコンタミ対策 ■低放出ガス ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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チャンバーなどの半導体製造装置部材のコーティングに実績が多数ある『シリカコート Quartzace』では、 基材は金属、樹脂、ゴム、生体など、様々な基材に対応でき、基材の特長を活かしたまま、表面のみシリカガラスの特性が得られます。 例えば、金属にコーティングすれば、塩酸ガスなどに対してシリカガラスの優れた耐食性が得られます。 また、高温での金属の酸化も防ぐことが可能。 金属表面が合成石英並みのSiO2になることにより、メタルコンタミの問題を解決できます。 先進の半導体製造プロセスでは、微量の金属汚染が製品品質や歩留まりに大きく影響するため、チャンバー、チャンバー回りパーツ、フランジ類などへコーティングすることでメンテナンスサイクルが大きく改善します。 【概要】 ■組成：SiO2 ■膜厚：0.1～3μｍ ■耐熱：350℃（-196℃～900℃） ■目的：腐食対策、メタルコンタミ対策（F系のガス以外） ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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