イプロス ものづくり
  • 分類カテゴリから製品を探す

    • 電子部品・モジュール
      電子部品・モジュール
      55910件
    • 機械部品
      機械部品
      70573件
    • 製造・加工機械
      製造・加工機械
      95481件
    • 科学・理化学機器
      科学・理化学機器
      32920件
    • 素材・材料
      素材・材料
      34743件
    • 測定・分析
      測定・分析
      52674件
    • 画像処理
      画像処理
      14522件
    • 制御・電機機器
      制御・電機機器
      50362件
    • 工具・消耗品・備品
      工具・消耗品・備品
      62888件
    • 設計・生産支援
      設計・生産支援
      11705件
    • IT・ネットワーク
      IT・ネットワーク
      40862件
    • オフィス
      オフィス
      13036件
    • 業務支援サービス
      業務支援サービス
      39803件
    • セミナー・スキルアップ
      セミナー・スキルアップ
      5816件
    • 医薬・食品関連
      医薬・食品関連
      22619件
    • その他
      59159件
  • 業種から企業を探す

    • 製造・加工受託
      7362
    • その他
      5058
    • 産業用機械
      4442
    • 機械要素・部品
      3288
    • その他製造
      2874
    • IT・情報通信
      2519
    • 商社・卸売り
      2457
    • 産業用電気機器
      2327
    • 建材・資材・什器
      1823
    • ソフトウェア
      1652
    • 電子部品・半導体
      1571
    • 樹脂・プラスチック
      1493
    • サービス業
      1400
    • 試験・分析・測定
      1131
    • 鉄/非鉄金属
      979
    • 環境
      702
    • 化学
      632
    • 自動車・輸送機器
      557
    • 印刷業
      505
    • 情報通信業
      429
    • 民生用電気機器
      424
    • エネルギー
      321
    • ゴム製品
      309
    • 食品機械
      304
    • 光学機器
      284
    • ロボット
      269
    • 繊維
      251
    • 紙・パルプ
      233
    • 電気・ガス・水道業
      173
    • 医薬品・バイオ
      165
    • 倉庫・運輸関連業
      144
    • ガラス・土石製品
      142
    • 飲食料品
      132
    • CAD/CAM
      121
    • 教育・研究機関
      108
    • 小売
      105
    • 医療機器
      99
    • セラミックス
      94
    • 木材
      87
    • 運輸業
      83
    • 医療・福祉
      61
    • 石油・石炭製品
      60
    • 造船・重機
      53
    • 航空・宇宙
      47
    • 水産・農林業
      39
    • 自営業
      23
    • 設備
      18
    • 公益・特殊・独立行政法人
      17
    • 鉱業
      17
    • 素材・材料
      15
    • 金融・証券・保険業
      13
    • 研究・開発用機器・装置
      13
    • 官公庁
      11
    • 個人
      9
    • 飲食店・宿泊業
      8
    • 警察・消防・自衛隊
      7
    • 化粧品
      7
    • 試薬・薬品原料
      3
    • 受託研究
      3
    • 実験器具・消耗品
      2
  • 特集
  • ランキング

    • 製品総合ランキング
    • 企業総合ランキング
製品を探す
  • 分類カテゴリから製品を探す

  • 電子部品・モジュール
  • 機械部品
  • 製造・加工機械
  • 科学・理化学機器
  • 素材・材料
  • 測定・分析
  • 画像処理
  • 制御・電機機器
  • 工具・消耗品・備品
  • 設計・生産支援
  • IT・ネットワーク
  • オフィス
  • 業務支援サービス
  • セミナー・スキルアップ
  • 医薬・食品関連
  • その他
企業を探す
  • 業種から企業を探す

  • 製造・加工受託
  • その他
  • 産業用機械
  • 機械要素・部品
  • その他製造
  • IT・情報通信
  • 商社・卸売り
  • 産業用電気機器
  • 建材・資材・什器
  • ソフトウェア
  • 電子部品・半導体
  • 樹脂・プラスチック
  • サービス業
  • 試験・分析・測定
  • 鉄/非鉄金属
  • 環境
  • 化学
  • 自動車・輸送機器
  • 印刷業
  • 情報通信業
  • 民生用電気機器
  • エネルギー
  • ゴム製品
  • 食品機械
  • 光学機器
  • ロボット
  • 繊維
  • 紙・パルプ
  • 電気・ガス・水道業
  • 医薬品・バイオ
  • 倉庫・運輸関連業
  • ガラス・土石製品
  • 飲食料品
  • CAD/CAM
  • 教育・研究機関
  • 小売
  • 医療機器
  • セラミックス
  • 木材
  • 運輸業
  • 医療・福祉
  • 石油・石炭製品
  • 造船・重機
  • 航空・宇宙
  • 水産・農林業
  • 自営業
  • 設備
  • 公益・特殊・独立行政法人
  • 鉱業
  • 素材・材料
  • 金融・証券・保険業
  • 研究・開発用機器・装置
  • 官公庁
  • 個人
  • 飲食店・宿泊業
  • 警察・消防・自衛隊
  • 化粧品
  • 試薬・薬品原料
  • 受託研究
  • 実験器具・消耗品
特集
ランキング
  • 製品総合ランキング
  • 企業総合ランキング
  • プライバシーポリシー
  • 利用規約
  • 会社情報
  • 採用情報
  • 広告掲載
  1. ホーム
  2. 製品を探す
  3. 科学・理化学機器
  4. 理化学機器
  5. その他理化学機器
  6. 自動レジスト塗布・現像・ベーク装置LITHOTRACシリーズ

自動レジスト塗布・現像・ベーク装置LITHOTRACシリーズ

  • ブックマークに追加いたしました

    ブックマーク一覧

    ブックマークを削除いたしました

    ブックマーク一覧

    これ以上ブックマークできません

    会員登録すると、ブックマークできる件数が増えて、ラベルをつけて整理することもできます

    無料会員登録

最終更新日:2024年11月12日

リソテックジャパン株式会社
リソテックジャパン株式会社
  • 公式サイト

塗布ユニット/現象ユニット搭載。2''~8''ウェーハの簡易切換え可。

自動レジスト塗布・現像・ベーク装置LITHOTRACシリーズは弊社独自に、研究開発用途から量産用途まで、ウエーハ製造プロセスのあらゆる部門に適応可能な装置開発を進めてきたレジスト塗布・現像・ベーク装置です。お客様のご要望に適応した自由度の高い設計に努め、もはや仕様のカスタマイズは特別注文ではないという設計思想が、多くのお客様からご好評をいただいております。詳しくはお問い合わせください。

    その他理化学機器
本体-3.jpg

自動レジスト塗布・現像・ベーク装置LITHOTRACシリーズ

本体-3.jpg
本体-3.jpg
  • 関連リンク - https://www.ltj.co.jp/coaterdeveloper.php?eid=0000…

この製品へのお問い合わせ

  • Webからお問い合わせ

基本情報

【主な特徴】 ○スピン塗布ユニット/スピン現象ユニット搭載 ○2'~8インチ'ウェーハの簡易切換え可 ○各種塗布材料や現像液毎に仕様を提案 ○研究開発用途や量産の両方に対応した仕様 ○300mmウェーハ、FOUPロードポート対応 【リソトラックライナップ】 ○LITHOTRAC CB-50(全自動コーター・ベーク)  塗布精度の向上を目的としたオプションとして、塗布室の雰囲気温湿調、レジスト温調などの各種温度制御機器を搭載することが可能です。 ○LITHOTRAC DB-50(全自動現像ベーク)  現像精度の向上を目的としたオプションとして、現像液温調などの各種温度制御機器を搭載することが可能です。 ○LITHOTRAC Dual-1000(全自動コーター・現像・ベーク装置)  スピン塗布ユニット/スピン現象ユニットを混載させたモデルです。 ●詳しくはお問い合わせください。

価格情報

お問い合わせください

納期

詳細はお問い合わせください

※お問い合わせください

用途/実績例

●詳しくはカタログをご覧頂くか、お問い合わせください。

企業情報

リソテックジャパン株式会社

リソテックジャパン株式会社

電子部品・半導体

ブックマークに追加いたしました

ブックマーク一覧

ブックマークを削除いたしました

ブックマーク一覧

これ以上ブックマークできません

会員登録すると、ブックマークできる件数が増えて、ラベルをつけて整理することもできます

無料会員登録
  • 公式サイト
電話番号・住所

リソテックジャパンは、創設以来リソグラフィのスペシャリストとして、レジスト露光/現像解析装置、レジストコータ/デベロッパ、リソグラフィシミュレータに加え、最先端リソグラフィプロセス向けに露光/現像材料評価等もご提供しております。 特にレジスト処理装置では、スピンコータ、デベロッパ、ベーク(PEB)装置、膜厚測定等を様々な分野に適応させて、開発用実験装置から生産用全自動システムまでご要望に応じた最適な仕様をご提案しています。 例えば、極薄シリコンウェーハ / 各種化合物半導体 / 石英 / サファイヤ / 圧電基板(SAW)等の各種基板に対しての、ArFレジスト / EBレジスト / 高粘度厚膜レジスト / ポリイミド / 絶縁膜 / ワックス等の塗布装置やアルカリ / 無機/有機等の現像装置をラインナップしています。 その他に、HMDS処理 / 真空減圧ベーク / UV照射 / 高温ベーク処理等各種プロセスユニットを用意しています。

製品・サービス一覧 (15)

その他理化学機器の関連カテゴリ

  • 科学・理化学機器
  • 理化学機器
  • その他理化学機器

この製品へのお問い合わせ

  • Webからお問い合わせ

製品

  • 製品を探す

企業

  • 企業を探す

特集

  • 特集

ランキング

  • 製品総合ランキング
  • 企業総合ランキング

サポート

  • サイトマップ
IPROS
  • プライバシーポリシー 情報の外部送信について
  • 利用規約
  • 会社情報
  • 採用情報
  • 広告掲載
COPYRIGHT © 2001-2025 IPROS CORPORATION ALL RIGHTS RESERVED.