信頼性の高い、長寿命のESC用高圧電源。
ESC 電源はシリコンウェハの静電吸着に用いるDC 電源です。 真空チャンバー内に高電圧を入力することにより、シリコンウェハと セラミックスプレートの間に静電引力を発生させます。 【特徴】 ■ HV 出力の極性反転 ■ プロセス中に発生するサージやアークからの保護 ■ 短絡・開放保護回路により信頼性が向上 ※詳細は添付PDFの参照、及びお気軽に弊社宛に直接お問い合わせ下さい。 047-369-3389
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基本情報
双極性 ＋/－750 V 6.5 mA の出力能力 ※詳細は添付PDFの参照、及びお気軽に弊社宛に直接お問い合わせ下さい。 047-369-3389
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造プロセス(PVD,CVD,ETCH)でシリコンウェハを固定させる方法として広く利用されています。
企業情報
■ 修理・アップグレード 各種電源、マッチングネットワーク、位相シフター、等の修理に対応します。又、経験・知識・実績に基づき、単なる故障箇所の修理に止まらず、使用部品の最適化など信頼性向上の提案・改善により高い評価を受けています。弊社での修理・アップグレード実績、及び主な対応周辺装置については、以下のリンクURLを参照願います：http://www.pra.jp/repair-upgrade ※ 見積や相談は、下記の電話番号か弊社Webサイト・リンクURL（お問い合わせフォーム）宛てに直接お問い合わせ下さい。 047-369-3389 http://www.pra.jp/contact