高感度・高質量分解能・高深さ方向分解能の3つの特長を備えるSIMS！
「高性能磁場型SIMS」は、すべての元素を高感度で深さ方向分析できる 装置です。 低エネルギー分析でも高感度かつ高質量分解能分析が可能な高性能SIMSに よって、難易度の高い、極浅領域における高精度な測定が可能となりました。 これにより、微細化や材料の多種多様化が進む半導体デバイスへ適用できる ようになりました。 【特長】 ■高感度測定(高い透過率) ■高質量分解能 ■極低エネルギー分析から通常分析まで様々な測定が可能 ■高輝度イオン銃搭載 ■高い繰り返し精度での自動測定、測定可能試料数25個 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社は、受託分析サービスを展開している会社です。 2002年8月の創立以来、信頼性のある分析・解析技術と最新鋭の設備を駆使し、 半導体・液晶・金属・新素材を中核とした幅広いマーケットに最適な ナノレベルの微細加工、分析、解析、信頼性評価、環境安全化学分析、 サービス・ソリューションを提供しております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。