半導体製造における品質管理に貢献！腐食性ガス中の水分をインライン測定
半導体業界の品質管理において、製造プロセスにおける微量な水分管理は、製品の性能や信頼性に大きく影響します。特に、腐食性ガスを使用する工程では、ガスの純度を保ち、製品の歩留まりを向上させるために、水分量の正確な測定が不可欠です。iTMAシリーズは、腐食性ガス中の水分をインラインで測定し、品質管理をサポートします。 【活用シーン】 ・半導体製造プロセスにおける腐食性ガス中の水分管理 ・ガス供給ラインにおける水分モニタリング ・品質管理部門でのガス分析 【導入の効果】 ・製品の歩留まり向上 ・製造プロセスの安定化 ・品質管理の効率化
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基本情報
【特長】 ・0-2500 ppmの範囲を最高精度±1%で測定 ・レーザー式と比較して1/4程度の価格を実現 ・本体はデスクトップ型/19"ラックマウント型/ポータブル型から選定可能 ・耐腐食性センサーを使用し、筐体/電極/0-リングの材質選定が可能 ・簡単メンテナンス（定期的にリン酸を塗布するだけ） 【当社の強み】 国産露点計メーカーとして、長年培ってきた水分計測技術を活かし、お客様のニーズに合わせた製品を提供しています。校正・点検・修理サービスも行っており、導入後も安心してご使用いただけます。
価格情報
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納期
用途／実績例
● 腐食性ガス製造工程 ● 半導体産業における腐食性ガス純度の管理 ● 塩素乾燥装置 ● 冷媒中の水分管理 ● 医療用酸素ガス中の水分管理 ● ポリエチレンの製造工程 ● 熱処理炉内の水分管理 ● 溶接工程におけるAr,He中水分管理 ● CO2乾燥、ドライアイス製造工程
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企業情報
国産静電容量式露点計TK-100シリーズをはじめ、ミラー式露点計、酸素濃度計、加湿装置、腐食性ガス中水分計という、水分管理に関わる様々な計測器・装置を紹介しております。これらを有機的に組み合わせ、また、配管、ライン作成、ユニット化により、オーダーメイドの製品をご提供し、複雑な問題点にも迅速に対応させて頂きます。
